Лазерная и электроннолучевая обработка материалов
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 70 71 72 73 74 75 76... 494 495 496
|
|
|
|
У 10 Рис. 2.21. Зависимость погрешности измерения плотности тока пучка на уровне нормального радиуса от соотношения размеров пучка и зонда электронного пучка слегка нарушена (кривая 1), сечение пучка имеет форму эллипса, расположение этого сечения в плоскости падения пучка зависит от направления электронов по отношению к поверхности зонда. Результаты экспериментов показали, что точность измерения тонкопленочным зондом достаточно высока, у этого метода нет недостатков, характерных для исследований с помощью зондов других типов. Применение пленочных зондов позволяет исследовать электронные пучки, размеры которых не превышают 5—20 мкм. Измерение параметров электронного луча электронным зондом. С целью получения информации о структуре пучка параметры рабочего термического пучка измеряют, зондируя его вспомогательным нетермическим лучом (рис. 2 23), не возмущающим измеряемая пучок [19]. Отклонение зондирующего пучка в электрическом поле рабочего пучка можно найти из уравнения, описывающего движение заряженной частицы в центр алъ-но-симметричном Рис. 2.23. Иллюстрация метода определения диаметра электронного луча ; помощью дополнительного нетермического пучка электронов: а — схема измерения; б — измеряемый угол отклонения; / — датчик; 2 — торец электронной пушки; 3 — рабочий пучок; 4 — зондирующий пучок; 5 — изделие х,мкм Рис. 2.22. Форма поперечного сечения электронною лча: / — на уровне 0,05/тах; 2 — на уровне 'тах/' поле. При этом угол отклонения осевого электронного зонда с энергией е13. п ф= я — где гтШ — корень уравнения р3 и -) а.п / рень уравнения ^1 — ----.------) = 0; й— расстояние г2 и3.п I от оси рабочего пучка, до датчика; р — расстояние между осями рабочего и зондирующего пучков; г — расстояние, которому соответствует потенциал поля рабочего пучка I); из, п — ускоряющее непряжение зон-дирующего пучка. Для г гр. п (гр. п — радиус рабочего пучка) 4ле„ ]/~Ц+г* — 1г
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 70 71 72 73 74 75 76... 494 495 496
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
