Лазерная и электроннолучевая обработка материалов
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 474 475 476 477 478 479 480... 494 495 496
|
|
|
|
менты вакуумную камеру с электронно-оптической системой (электронной пушкой), систему откачки, включающую форвакуумный и высоковакуумный насосы, блок питания, манипуляторы, системы наблюдения Установки для сварки в промежуточном вакууме, как правило, специализированные, конструктивно более просты, чем высоковакуумные Вакуумная камера выполняется по форме и размерам обрабатываемой заготовки и имеет минимальный объем откачиваемого пространства В такого рода установках пушка имеет отдельную откачку, и ее камера присоединяется к камере обрабатываемой заготовки только в процессе операции сварки или обработки Установки для вневакуумной об-оаботки характеризуются отсутствием рабочей камеры, мощной системой ступенчатой откачки, необходимостью специальной биологической защиты Это высоковольтные установки И хотя рабочее расстояние между пушкой и обрабатываемой заготовкой при аневакуумной обработке составляет около 10 мм, концентрация мощности в фокусе луча невелика из-за интенсивного рассеяния электронов. Установки для размерной обработки и микросварки типа ЭЛУРО предна значены для размерной обработки и микросварки деталей электронной техники, радиоэлектроники, точной механики и т п Как правило, они универсальны Установки имеют следующие особенности [4] 1При высокой стабильности параметров и достаточно большой мощности формируется луч диаметром 10— 100 мкм Это достигается использованием пушек с высоким ускоряющим напряжением 75—200 кВ в сочетании со стабилизированными источниками питания. 2Управление лучом осуществляется электромагнитными отклоняющими системами, перемещающими луч по обрабатываемой заготовке на небольшой площади с высокой точностью 3Электронная пушка работает как в непрерывном, так и в импульсном режимах. 4Манипуляторы обеспечивают высокую точность совмещения зоны обработки с электронным лучом и дают возможность осуществлять перемещение зоны обработки по программе 5Электроприводы манипуляторов стабилизированы и обеспечивают стабильность скорости перемещения ± 1 % от номинала при колебаниях напряжения сети 6В установках используются оптические системы наблюдения за процессом обработки с увеличением 50—100х 7Рабочий вакуум в камере объемом не более 0,5 м3 составляет величину не более 5 103 Па Время откачки камеры до рабочего давления 3— 15 мин 8Электронная пушка устанавливается на камере стационарно, перемещается объект обработки Техническая харалт рис/пика установки типа ЭЛУРО До 100 3 3 — 11 200 Х4 ю-' Анодное напряжение, кВ Сила тока луча, мА Диаметр луча на обрабатываемой заготовке, мкм Параметры импульсного ре жима частота следования импуль сов кГц длительность импульсов, МКС 2 Максимальное перемещение стола в горизонтальной пло скости по каждой оси, мм150 Точность установки стола, мкм 3 Диаметр луча при работе в ре жнме сканирующего микро скопа, мкм Размер обрабатываемой поверх ности при работе луча в ре жиме сканирования мм4 Рабочее давление в камере, Па 5 Время достижения рабочего давления мин10—15 Основные факторы, определяющие нестабильность типа импульсного луча и соответственно погрешность диаметра обработки отверстия, определены в работе (11] Изменение тока электронного луча в триодной пушке установки ЭЛУРО вызвано нестабильностью ускоряющего напряжения ¿7, напряжения смещения Ов, модулирующего напряжения ит, колебаниями давления остаточных газов в пушке р, изменением температуры катода Т и геометрических параметров пушки при нагреве катодного узла, особенно глубины Ь,
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 474 475 476 477 478 479 480... 494 495 496
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
