Лазерная и электроннолучевая обработка материалов
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 467 468 469 470 471 472 473... 494 495 496
|
|
|
|
во многих случаях достаточно просты в обслуживании отработанные модели обладают высокой надежностью и зна чительной долговечностью и т п В табл 15 8 приведены характеристики некоторых газовых лазеров технологического назначения. Импульсный лазер на С02 типа ОКГ 15 (импульсный режим создан соответствующей системой питания) эффективно может использоваться для прошивки отверстий в неметаллических материалах, подгонки толстопленочных сопротивлений и т д [9 26] Установка ТИЛУ 1 с ОКГ-15 на операции подгонки резисторов заменила целую линию из 20 импульсных лазеров на рубине типа СУ-1 Лазер на азоте удобен для обработки тонких пленок (длина волны 0,33 мкм, длительность импульса излучения 10—40 не, частота повторения импульсов — несколько сот герц, энергия излучения в импульсе 0,01—0,1 МДж) Малая длина волны облегчает фокусировку излучения, малая длительность практически исключает повреждение подложки при обработке пленки, а большая частота повторения импульсов Делает процесс обработки достаточно производительным Лазеры типа ЛГИ-21 и "Сигнал-3" (имеют круглое, а не прямоугольное, как у зарубежных лазеров сечение луча) применяются для обработки пленочных слоев — гравировки высокоомных сопротивлений и подгонки их номиналов, изготовления щелевых конденсаторов, подгонки частоты кварцевых резонаторов как на воздухе, так и в вакууме Указанные приборы можно также использовать для разделения р—"-переходов в изготовлении полупроводниковых приборов, изготовления меза-структур, скрайбирования кремниевых интегральных схем, прецизионной резки полупроводниковых материалов (монокристаллов сурьмянистого индия, арсеиида галлия, германия) Гелий-кадмиевый лазер представляет интерес для фотохимии в связи с наибольшей (по сравнению с другими лазерами) энергией кванта излучения Для обработки материалов (наиболее успешно для испарения тонких пленок) могут использоваться высококо герентные импу льсные гелий-неоновые лазеры с мощностью излучения в им пульсе до 250 Вт с частотой повторения импульсов до 2000 Гц Автоматизированная установка для программного однослойного раскроя неметаллических материалов лучом лазера типа ЛУРМ предназ! ачена для применения в различных отраслях легкой промышленности, а также может использоваться в авиационной, судостроительной, автомобильной, химической и других отраслях на родного хозяйства [1] Установка состоит из двухкоординатной машины с устройствами для автоматической подачи материала из рулона и съема выкроенных деталей, лазера на С02 типа "Кардамон" с оптической системой и числового программного устройства Оптический резак установлен на каретке, перемещающейся по направляющей портала с помощью реечной передачи Портал с помощью двух стоек крепится к остову машины Между ними по рельсовым направляющим перемещается стол Стол также с помощью реечной передачи приводится в движение от привода продольной подачи Раскройный стол выполнен из алюминия в виде ячеистой структуры Фиксация материала на столе и удаление продуктов термического разложения осуществляются вакуумной системой Точность исполнения конт\ра при раскрое составляет 0,8—1,0 мм Техническая характеристика Тип установки Наибольшие размеры обрабатываемого мл териала, см ширина длина ЛинеЧная скорость рас кроя м/мин Тип привода подач Система управления Лип программного устройства Тип интерполяции Код программирования Рабочая частота, Гц Максимальная частот" Одн опозиції ош а я 160 0 1о0 о То 1 Этектрогидра в тичеекп и шаговпй ШД 5Д Дв хкоог. дин ат ная, числовая программная контурная ЭМ-90Т Линейно-круговая СО 2000
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 467 468 469 470 471 472 473... 494 495 496
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
