Лазерная и электроннолучевая обработка материалов
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 357 358 359 360 361 362 363... 494 495 496
|
|
|
|
II Ann Я 50 ЮО хм Рис. 10.20. Изменение глубины и ширины проплавлений кремния п-типа в зависимости от времени электронно-лучевого воздействия: U — 20 кВ, / 40 мА, / = 45 мм ililifililiilliillfl шшшшвш ШЩШШтШШшшЁШШШВШШШ щшШШш&ШШШШЯШМШШШІШШ^ 'ЩШШШШШШШШШШйШШШШ. 1 ШШШШШШШШШШШШЖШшШт Рис. 10.18. Сечение зоны проплавлення кремния кэ [111j: U = 24 кВ, / = 150 мА, моноимпульс с t — 50 мс, рабочее расстояние / = 60 мм, X 25 сти ЇЮ0]. Например, при /=¿2 мс [100] коэффициент формы проплавлення HIB л; 5, тогда как для образцов из кремния КЭ в обеих плоскостях Н,В,пп о um та иткдб j їда] 111 і і і і ü ( 1 X J / -РТТ іїТ" "Г і. тяг— IjjL я Li 1 і" І ) 1 II ю Z5 50 fOOt.nc Рис. 10.19. Изменение глубины и ширины проплавлення кремния р-типа в зависимости от времени электронно-лучевого воздействия: V = 20 кВ, 1 = 40 мА, I = 45 мм и для образцов из КДБ в плоскости [111] в среднем Я/5 l-f-2. Увеличение времени воздействия ЭЛ сказывается на геометрии зоны проплавлення кремния (рис. 10.19, 10.20). Для образцов нз кремния КЭ глубина проплавленая (см. рис. 10.20) при изменении времени воздействия от 1 до 25 мс в обеих плоскостях практически не изменяется. При воздействии ЭЛ в течение времени, большем 25 мс, глубина проплавлення начинает резко возрастать. При этом ширина проплавлення в обеих плоскостях скольжения также начинает резко возрастать при t 25 мс. Как видно на рисунке, анизотропия кремния не влияет на глубину проплавлення Полученная разность в значениях глубины проплавлення в плоскостях [111] и [100] находится в пределах погрешности опыта Для образцов из кремния КДБ анизотропия начинает играть существенную роль (см. рис. 10.19) Разность в значениях глубины проплавлення в плоскостях [100] и [III] составляет 200—300 %. Глубина проплавлення в плоскости [100] с увеличением времени резко возрастает и уже при t я? 10 мс достигав! толщины образца. Глубина проплавлення в плоскости [111] увеличивается медленно во времени и достигает толщины образца (4 мм) при t 100 мс. Ширшій проплавлення в обеих плоскостях возрастает одинаково. Резкое увеличение ширины проплавлення наблюдается при t = 50-f-100 мс.
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 357 358 359 360 361 362 363... 494 495 496
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
