Лазерная и электроннолучевая обработка материалов
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 179 180 181 182 183 184 185... 494 495 496
|
|
|
|
Лv = 1,17 эВ и весь поток падает на поверхность образца. Часть потока при этом отражается, а остальная часть (?п = (1 — Ю % (где Я — коэффициент отражения) поглощается материалом. С поверхности его начинается термоэмиссия Электроны в упругих столкновениях с молекулами газа за время I да 0,2 не набирают в поле ЛИ энергию Те = 1,1 эВ. Под влиянием термоэмиссии вблизи поверхности образуется объемный заряд, потенциал которого препятствует эмиссии электронов, создавая им дополнительную работу выхода. При достижении потенциалом пространственного заряда и да 3 В (г = 2 не) эмиссия электронов с поверхности прекращается. Плотность электронов в области х ^ 0,4 мкм достигает Ne да2-1018 см-3, а температура поверхности — 0,34 эВ. Полученное пространственное распределение Ые можно рассматривать как минимальную плотность электронов для возникновения пробоя газа. Несмотря на высокую плотность электронов, пробоя газа на данном отрезке времени не происходит. Все явления в зоне излучения определяются столкновениями в молекулярной составляющей газа. Ионизация молекул происходит сравнительно медленно из-за недостаточно высокой энергии электронов, величина которой ограничивается неупругими потерями, так как коэффициент неупругих потерь б (Те) с повышением температуры резко возрастает. Плотность атомов еще низка, что связано с невысоким значением колебательной температуры Тк да 0,3 эВ (см рис. 6 8), определяющей степень термической диссоциации Основным механизмом диссоциации при значениях колебательной температуры Тн^0,6 эВ является диссоциация электронным ударом. В молекулярном азоте наиболее интенсивно происходит передача энергии электронов на колебательные степени свободы. В результате энергия, приобретаемая электронами в поле ЛИ, в основном идет на колебательное возбуждение молекул. Так как обратный процесс девозбуждения в наносекундном диапазоне практически отсутствует и, кроме того, колебательная энергия пополняется еще за счет реакций термической ассоциации Ы2 + 2N -г Н2, N + 2N -+ 14;? + N. то величина колебательной температуры на некотором отрезке времени может превышать температуру электронов К моменту г да 3 мс температура Тк на расстоянии х = 0,4 мкм достигает 3 эВ (Те = 1,2 эВ, см рис. 6.8). Происходит интенсивная термическая диссоциация газа, достигающая гри I да 4 ис —90 % (см. рис. 6.7 и 6 8). В этом случае определяющими становятся столкновительные процессы в атомарной составляющей газа. Температура электронов на уровне х = = 0,4 мкм определяется электрон-нейтральными и электрон-ионными столкновениями в атомарном газе Рост плотности ионов Н+, К'^ приводит к увеличению частоты электрон-ионных столкновений \°, и в момент сравнения частот \аи да \ °п, где \° — частота столкновений атомарного (индекс а) иона или нейтрала с электроном, происходит увеличение температуры Те, что вызывает усиление процесса ионизации, а также дальнейший рост v" и Те, т. е. начинается развитие электронной лавины. Плотность ионов М+ увеличивается и сравнивается с величиной плотности электронов Ме, что вызывает снижение потенциала и в этой области. Электрическое поле становится самосогласованным, и диффузия приобретает амбиполярный характер Окончание стадии пробоя определяется по достижении максимума температуры электронов в точке пробоя. Температура ТР достигает своего максимального значения Те щах = 1,79 эВ при х = 0,4 мкм в .момент времени ^ = 4,35 не, при этом Ме да г\,+ = = 3-1026 м~3, Гкда4,5 эВ. В дальнейшем под влиянием диффузии область пробоя сдвигается навстречу ЛИ. Температура поверхности за время пробоя достигает 0,45 эВ, что близко к температуре кипения молибдена при давлении 0,1 МПа. Это позволяет
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 179 180 181 182 183 184 185... 494 495 496
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
