Справочник по конструкционным материалам
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 504 505 506 507 508 509 510... 642 643 644
|
|
|
|
78-2 диаметра слитков (20-30 мм), плотностью дислокаций (3*10 -8*10 м ). Ориентация продольной оси монокристаллического слитка [111], [100] или [110]. Отклонение плоскости торцового среза от плоскости ориентации не более 3°. Подвижность ОНЗ должна соответствовать данным, приведенным в табл. 7.38. Таблица 7.38. Подвижность ОНЗ (нижний предел) для нелегированного и легированного теллуром, оловом, цинком арсеиида галлия при 23±2 °С [15] ^онз* 1Л-24 -3 хЮ ,м Подвижность ОНЗ, м2/(Вс) ^OH3x 1Л-24 -3 xlO , м Подвижность ОНЗ, м2/(Вс) AsGa AsGa + + Те AsGa + + Sn AsGa + + Zn AsGa AsGa + + Te AsGa + + Sn AsGa + + Zn 0,01 0,50 — 0,6 — 0,32 0,29 0,0135 0,02 0,48 0,8 0,30 0,28 0,0120 0,04 0,44 0,40 1 0,25 0,22 0,0100 0,06 0,42 0,39 4 0,20 0,16 0,0080 0,08 0,39 0,38 6 0,17 0,0065 0,1 0,38 0,37 0,0170 8 0,14 0,0055 0,2 0,36 0,34 0,0160 10 0,0050 0,4 0,34 0,31 0,0140 50 0,0040 Арсенид галлия, легированный кремнием, выпускают пяти марок (АГНК-1 -АГНК-5) с номинальной концентрацией #0нз = (0,9...3,5) 1024 м"3. Подвижность ОНЗ не ниже 28-2 0,12 м /(Вс), плотность дислокации рл*. = (0,01... 1)-10 м . Выпускают четыре разновидности арсенида галлия (полуизолирующий, легированный хромом, кислородом и индием) с р„ £ 1 • 10 Омми арсенид галлия для модуляторов марки АГЧПМ с р„ £ 5-105 Омм. Монокристаллический фосфид галлия, предназначенный для производства полупроводниковых приборов, изготовляют как электронного, так и дырочного типа проводимости. В качестве легирующих примесей используют серу, цинк, оксид хрома. Для легирования высокоомного фос фида галлия марки ФГВ-1 применяют железо, ванадий и марганец. Фосфиды галлия марок ФГВ-2 и ФГВ-3 легируют хромом. Слитки монокристаллического фосфида галлия выпускают с номинальными значениями диаметра 35, 40, 45, 50 мм и длиной не менее 30 мм. Ориентация продольной оси монокристаллического слитка [111] или [100]. Некоторые электрофизические свойства монокристаллических слитков фосфида галлия приведены в табл. 7.39. Таблица 7.39. Электрофизические свойства слитков фосфида галлия [38] Марка ^онзх -3 м Подвижность ОНЗ, м2/(Вс), при 27 °С р, Ом м -2 м , не более ФГЭ-1 1-80 0,015-0,065 — — ФГЭС-1А 1-4 0,012-0,050 5 ФГЭС-1Б 1-4 0,012-0,040 4 ФГЭС-2 3-7 0,010-0,035 20 ФГДЦ-1 1-4 £0,004 20 ФГДЦ-2 4-9 20 ФГВ-1 1-Ю6 5 ФГВ-2 104-109 20 ФГВ-3 *109 20
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 504 505 506 507 508 509 510... 642 643 644
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
