Справочник по конструкционным материалам
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 499 500 501 502 503 504 505... 642 643 644
|
|
|
|
силовых полупроводниковых приборов, выпускают либо марок БО бестигельный од-нороднолегированный (ТУ 48-4-449-83), либо марок КОФ однородный, легированный фосфором [13]. Слитки монокристаллического кремния марок БО имеют диаметр 54±0,05 мм, длину не менее 100 мм; ориентацию продольной оси монокристаллического слитка [111]; отклонение плоскости торцового среза от плоскости ориентации не более 2°; электронный тип проводимости; значения рн = 1,3... 1,3 Омм; время жизни неравновесных носи 5 -2 телей заряда не менее 70 мкс; плотность дислокаций не более 10 м . В них отсутствуют свирлевые дефекты; концентрация атомов оптически активного кислорода #о2 й 1 • 1022 м~3, а оптически активного углерода #с £ 4-1022 м~3. Слитки монокристаллического кремния марок КОФ имеют диаметр 44, 34, 60 или 84 мм с погрешностью ± 1 мм; ориентация оси слитка [111]; отклонение плоскости торцового среза от плоскости ориентации не более 3°; два интервала значений рн, Омм: 0,4-2,0 и 2,1-3,3; время жизни неравновесных носителей заряда не менее 0,33-1,0 мкс при рн = 0,7...2,0 Омм, не менее 30 мкс при рн = 0,4...0,6 Омм и не менее 100 мкс при 5 -2 рн=2,1 ...3,5 Омм; плотность дислокаций р^ £ 10 м . Концентрация оптически актив 22 -3 ных кислорода и углерода у них не должна превышать 5 10 м , а допустимые относительные отклонения 8рн и 8рд соответственно 12 и 7 % для слитков с рн = 0,40...2,00 Ом-м и 15 и 10% для слитков с рн = 2,10...3,50 Ом-м. Монокристаллический кремний для фотоприемников [15] получают методом бестигельной зонной плавки (марки КБ) и методом Чохральского (марки КЧ), дырочного (легирование бором) и электронного (легирование фосфором) типа проводимости. Диффузионная длина неравновесных носителей заряда 1=10-2ч/Ш, 2 где I) коэффициент диффузии, равный 35,36 см /с для кремния дырочного типа проводимости и 13 см /с для кремния электронного типа проводимости; х время жизни, с. Концентрация оптически активного кислорода должна быть не более 1 • 1023 м~3 для марок КБ и 7-10 м для марок КЧ. Некоторые электрофизические свойства кремния, предназначенного для фотоприемников, приведены в табл. 7.33. Кроме приведенных величин, слитки кремния различаются геометрическими размерами. Таблица 7.33. Некоторые электрофизические свойства кремния, предназначенного для фотопрнемников Марка кремния рн102, Омм Рднс-10 "М , не более 1% мм, не менее КБ1 80-140 1 0,3 КБ2 80-140 10-5000 0,3 КБЗ 100-250 1 0,3 КБ4 100-250 1 0,3 КБ5 20 1 0,3 КБ6 20 1 0,3
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 499 500 501 502 503 504 505... 642 643 644
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
