Справочник по конструкционным материалам
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 498 499 500 501 502 503 504... 642 643 644
|
|
|
|
кремния различных марок и ориентация продольной оси монокристаллического слитка приведены в табл. 7.32. Допустимое относительное отклонение 5рн составляет 20 % для марок КВЭ и 25 % для марок КВД, а 8рЛ = 10 %. Таблица 7.32. Удельное электрическое сопротивление и ориентация продольной оси моиокрнсталлического слитка для различных марок кремния Марка кремния рн-102, Омм Ориентация Марка кремния рн102, Ом-м Ориентация КВЭ1 1-50 пи] КВД1 1-50 пи] КВЭ2 1-50 [100] КВД2 1-50 [100] КВЭЗ 50-150 [111] КВДЗ 50-150 [111] КВЭ4 50-150 [100] КВД4 50-150 [100] Время жизни неравновесных носителей заряда зависит от рн слитка и для электронного типа проводимости составляет, мкс: £ 400рн при рн = 0,01 ...0,5 Ом-м, £ 200рн при рн £ 0,5... 1,00 Омм и £ 150рн при рн £ 1,00... 1,50 Ом-м, а для дырочного типа проводимости £ 400рн £ 0,4... 1,50 Омм и £ 200рн при рн £ 0,4... 1,50 Омм. Монокристаллический кремний в слитках (ГОСТ 19658-81), предназначенный для пластин-подложек эпитаксиальных структур и структур металл диэлектрик полупроводник и лепфованный бором (марки ЭКДБ), изготовляют дырочного типа проводимости, а лепфованный фосфором (марки ЭКЭФ) иди сурьмой (марки ЭКЭС) электронного типа проводимости с £ 105 м-2. Продольная ось монокристаллического слитка кремния имеет ориентацию [111] или [100]. Отклонение плоскости торцового среза монокристаллических слитков от плоскости ориентации не должно превышать х=3°. Номинальные диаметры слитков 62,5*23, 78,5_+23 и 102,5_+23 мм. В слитках кремния диаметром 62,5 и 78,5 мм Nq2 й 7-1023 м"3, а в слитках диаметром 102,5 мм й 1 • 1024 м~3. Слитки кремния с рн 0,03 Ом-м должны иметь время жизни неравновесных носителей заряда £ 7,5 мкс -для электронного и £ 2,5 мкс для дырочного типа проводимости. Десять групп марок слитков монокристаллического кремния характеризуются рн = 0,00005...0,4 Омм, 8рн 20...40 % и 8рл = 10...20 %. Монокристаллический кремний, предназначенный для производства полупроводниковых источников тока (ТУ 48-4-258-80), изготовляют в виде монокристаллических слитков, выращенных по методу Чохральского, диаметром 40-55 мм и длиной не менее 50 мм. Продольная ось монокристаллического слитка имеет ориентацию [111] или по согласованию с^поттюбителем [100]; плотность дислокаций для всех марок не должна превышать 5-10 м . Кремний марок КСД -солнечный дырочного типа проводимости, легированный бором; р = 0,003 ...0,03 Ом-м либо 0,05 ...0,45 Ом-м. Кремний марок КСЭ солнечный электронного типа проводимости, легированный фосфором; р = 0,006...0,25 Ом-м. Время жизни неравновесных носителей заряда зависит от удельного электрического сопротивления слитка. Монокристаллический кремний, полученный бестигельной зонной плавкой, легированный фосфором в процессе нейтронной активации, предназначенный для производства
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 498 499 500 501 502 503 504... 642 643 644
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
