Справочник по конструкционным материалам
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 497 498 499 500 501 502 503... 642 643 644
|
|
|
|
В табл. 7.30, 7.31 приведены некоторые электрофизические параметры слитков монокристаллического кремния. Таблица 7.30. Основные электрофизические параметры слитков монокрнсталлнческого кремния, полученных методом Чохральского Группа Подгруппа р^Ю2, Омм Тип проводимости Легирующий марки марки элемент 1А 1-3 1-15 э,д Ф,Б 2А 1-3 15-45 э,д Ф,Д ЗА 1-3 0,005-1 э,д Ф,Б ЗА 4-5 0,002-0,006 Э М ЗБ 1-3 0,003-0,1 Э С,М * Номинальное значение р. Таблица 7.31. Основные электрофизические параметры слитков монокрнсталлнческого кремния, полученного бестигельной зонной плавкой Группа Подгруппа ри102, Омм Тип проводи Легирующий Рднс'Ю ,М , марки марки мости элемент не более 1А 1-3 1-15 э ф 0,2-5 1Б 1-2 1-15 Э ф 1 2А 1-3 15-45 Э ф 1 2В 1 40-75 Э ф 1 2Г 1-2 50-140 Э ф 1 2Д 1 100-250 Э ф 1 2Е 1-4 500-2000 и выше Д Б 5 2Ж 1 1,5-3,5 Д Б 5 ЗА 1-4 0,012-1 Э Ф 2-5 4А 1-2 0,02-0,2 д А 5А 1 3-18 э Ф 0,2-5 * Здесь и далее плотность дислокаций. В зависимости от группы и подгруппы марки техническими условиями допускается отклонение средних значений удельного электрического сопротивления торцов от номинального значения 8рн = 15...35 %, радиальное относительное отклонение удельного электрического сопротивления от среднего значения по торцу слитка 5рЛ = 10...20 % и относительное отклонение средних значений удельного электрического сопротивления по длине слитка 5р7 = 20... 35 %. Кремний монокристаллический, полученный методом бестигельной плавки (ТУ 48-4-466-85), предназначен для производства полупроводниковых приборов (ПЭС, БИС, СБИС). Слитки монокристаллического кремния, легированные фосфором, изготовляют электронного (Э), а легированного бором дырочного (Д) типа проводимости. Монокристаллические слитки не должны иметь дислокаций и свирлевых дефектов. Концентрация атомов оптически активного кислорода должна быть не более 5-1021 м~3, 21 -3 а оптически активного углерода #с не более 5-10 м . Слитки имеют диаметр 78 ± 2 мм и длину не менее 80 мм. Удельное электрическое сопротивление монокристаллического
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 497 498 499 500 501 502 503... 642 643 644
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
