Справочник по конструкционным материалам
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по e-mail.
Страницы: 1 2 3... 159 160 161 162 163 164 165... 642 643 644
|
|
|
|
Существенным усовершенствованием процессов газофазного осаждения покрытий явилось создание установок, работающих по замкнутому циклу без выброса вредных веществ в атмосферу [24]. 3.3.2. Покрытия, получаемые термовакуумным напылением Термовакуумный метод нанесения покрытий [24, 32] основан на конденсации на поверхностях деталей пленки металла или химического соединения, переведенного в парообразное состояние нагревом наносимого вещества (от нагревателя сопротивления, электронным лучом, индукционным методом, взрывом проволочки и, наконец, лазерным лучом). Энергия атомов или молекул в образующейся паровой фазе невелика, поэтому для образования качественного покрытия с хорошей адгезией к основе требуется нагревать ее до температур, обеспечивающих прохождение диффузионных процессов на границе покрытие основа. Термовакуумные методы могут быть реализованы в высоком вакууме. Производительность этих методов может быть достаточно высокой. К их недостаткам относятся: изотропный разлет наносимых веществ при их испарении (что приводит к высоким непроизводительным потерям напыляемых материалов), невозможность нанесения недостаточно стабильных веществ, трудность нанесения сплавов заданного состава при различной упругости паров компонентов, необходимость нагрева деталей (подножки) до высоких температур. 3.3.3.Вакуумные ионно-плазменные покрытия и модифицированные слои Для образования качественного покрытия при более низких температурах деталей необходимо повысить энергию конденсирующихся на них частиц. При соударении с твердой поверхностью частиц с достаточно высокой энергией в микрообъемах создаются условия, при которых обеспечивается образование химических связей без объемного нагрева деталей (что лежит в основе всех вакуумных ионно-плазменных методов нанесения покрытий). В образовании покрытия при этих методах участвуют нейтральные и возбужденные частицы (атомы, молекулы и кластеры) с высокой энергией (превышающей в десятки и сотни раз энергию тепловых атомов и молекул) и ионы, энергию которых можно варьировать в широких пределах изменением ускоряющего напряжения. Вакуумные ионно-плазменные процессы нанесения покрытий характеризуются следующими основными этапами: генерацией атомарного или молекулярного потока вещества, его ионизацией, ускорением, фокусировкой и конденсацией на поверхности детали или подложки. Для генерации потока вещества используют разогрев потоком электронов и различные формы газовых разрядов (тлеющий, дуговой с нерасходуемым термоэмиссионным катодом, дуговой с термоавтоэмиссионным расходуемым катодом) [14,32,53]. Применительно к нуждам машиностроения вакуумные ионно-плазменные методы нанесения покрытий и создания модифицированных поверхностных слоев можно условно разделить на четыре группы: 1) ионно-диффузионные, осуществляемые в тлеющем разряде; 2) катодное распыление в разряде постоянного тока и в высокочастотном разряде; 3) ионное осаждение; 4) ионное легирование (имплантация).
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 159 160 161 162 163 164 165... 642 643 644
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
