Электротермическое оборудование
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 382 383 384 385 386 387 388... 414 415 416
|
|
|
|
в) РАДИАЛЬНЫЕ ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУШКИ У радиальных пушек ЭОС формирует клинообразный расходящийся пучок электронов. Угол расходимости пучка на выходе из анодной щели составляет около 10°. Катод выполнен прямоугольной формы из вольфрамовой проволоки, нагреваемой проходящим по ней током. Несколько ЭОС (от трех до десяти), расположенных обычно по кругу и заключенных в вакуумную полость с индивидуальной откачкой, составляют радиальную пушку. Ускоряющее напряжение пушек 10—15 кВ. Цепи накала катодов всех ЭОС соединены последовательно и питаются от общего источника питания. В первых конструкциях радиальных пушек для плавильных установок система проведения пучка отсутствовала; ЭОС ориентировались таким образом, чтобы обеспечить необходимое распределение мощности пучка по поверхности слитка и расплавляемой заготовке. По мере совершенствования конструкции радиальных пушек ЭОС были дополнены электромагнитными отклоняющими системами. Введение в конструкцию пушек систем отклонения позволило вынести ЭОС из зоны прямой видимости расплава и дало возможность управлять распределением мощности по поверхности нагрева. Все это значительно увеличило устойчивость работы пушки, повысило срок службы катода и расширило технологические возможности нагревателей. г) ПЛОСКОЛУЧЕВЫЕ ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУШКИ С РАЗВОРОТОМ ПУЧКА Для технологических процессов, связанных с большим парциальным давлением паров металла в технологической камере и интенсивным газовыделением из расплава, рационально использовать плосколучевые пушки с разворотом луча. Широкое применение подобные пушки нашли' в установках для вакуумного нанесения покрытий благодаря возможности освободить пространство над поверхностью расплава от элементов конструкции пушки (см. рис. 11-3, 11-4). В зависимости от типа ЭОС и системы магнитного разворота пучка, их взаимной компоновки возможны различные схемы электронных пушек. Во ВНИИЭТО разработаны две конструкции плосколучевых пушек. Первая конструкция (рис. 11-20) позволяет выполнять компактное испарительное устройство. Тигель с испаряемым материалом и ЭОС помещены между полюсами системы магнитного разворота пучка. Пушки такого типа устойчиво работают при давлении в рабочей камере до Ю-2 Па. Размер зоны нагрева определяется шириной пучка и амплитудой сканирования. Имеется конструкция пушки, в которой угол разворота пучка дости гает 270°, что значительно повысило устойчивость работы. Во второй конструкции пушки ЭОС вынесена из магнитной системы разворота луча, снабжена индивидуальной откачкой и находится вне рабочей камеры. Пучок вводится в камеру через лучевод прямоугольной формы с достаточно большим вакуумным сопротивлением. Пушка обеспечивает прямоугольную зону нагрева 120Х Х200 мм. Мощность пушки 60 кВт при 15 кВ. Д) АКСИАЛЬНЫЕ ЭЛЕКТРОННЫЕ ПУШКИ Аксиальные пушки нашли широкое применение в промышленной технологии, так как они наиболее полно Рис. 11-20. Электронно-лучевая пушка мощностью 15 кВт. 1 — катод; 2—анод; 3— изолятор; 4— защитный экран; 5 — фокусирующий электрод; 6 — тигель; 7—магнитная система разворота пучка. 25—351 Рис. 11-21. Аксиальная пушка мощностью 300—500 кВт.
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 382 383 384 385 386 387 388... 414 415 416
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
|
|
|
