Электротермическое оборудование
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 285 286 287 288 289 290 291... 414 415 416
|
|
|
|
этому важно в период работы насоса следить за тем, чтобы давление в? откачиваемом объеме не превысило наибольшее рабочее давление насоса. Применение маслоотражателя приводит к снижению быстроты откачки насоса. Следует, однако, иметь в виду, что даже при наличии маслоотражателя небольшое количество масла из паромасляного насоса проникает (мигрирует) в печь. Снизить это количество удается применением вымораживающих ловушек (см. § 8-4, г). Наряду с насосами отечественной промышленностью выпускаются агрегаты на базе бустерных и диффузии онных насосов, представляющие собой совокупность соответствующего пароструйного масляного насоса, вакуумного затвора, азотной вымораживающей ловушки (только в агрегатах с диффузионным насосом), смонтированных вместе с системой электропитания на специ-. альной раме. Характеристики паромасляных диффузионных и бустерных насосов приведены в табл. 8-8. Таблица 8-8 Техническая характеристика некоторых типов паромасляных диффузионных и бустерных насосов Параметр Диффузионные насосы Н-1С-2І Н-0,5 | Н-2 \ Н-5 Н Бустерные насосы НВБМ-0,5 НВБМ-2,5 НВБМ-5 | БН-15000 Быстрота откачки воздуха, м3/с: при давлении 1,3-10 3—1,3-10 ~~ Па при давлении 1,3 Па Предельное остаточное давление, создаваемое насосом, Па: бустерным при температуре охлаждающей воды не выше 20° С диффузионным без охлаждения ловушек жидким азотом (не менее) Наибольшее выпускное давление (не более), Па: при давлении на входе 1,3 Па при давлении на входе 4-10—3 Па Рекомендуемая марка заливаемого в насос масла Количество масла, заливаемого в насос, л Расход охлаждающей воды (температура 15±5° С), л/ч Рекомендуемый форвакуумный насос Мощность нагревателя насоса, кВт Габаритные размеры, мм; длина ширина высота Масса, кг 0,1 0,5 1,6 6,6-Ю 3,3 ВМ-1 0,7 2,5 5,3 1,3-Ю2 6,6-10 2-102 "Г" или ВМ-3 10 1-Ю2 0,06 0,3 0,8 1,7 2,5 1,7 5 30 40 60 70 150 190 320 145 360 1100 2000 НВР-5Д НВЗ-20 НВЗ-50Д НВЗ-20 НВЗ-50Д Нї,3-75 НВЗ-100Д 0,5 0,9 1,8 3,3 6 2,4 6 14 43 210 425 548 403 927 480 695 1150 2430 145 235 340 460 600 400 576 910 1060 374 340 465 697 894 975 1600 2340 3350 8 26 51 94 170 70 235 500 1600 Таблица 8-9 Основные технические характеристики магнитных электроразрядных насосов Таблица 8-10 Основные технические характеристики ионно-геттерных насосов Тип насоса Быстрота откачки по воздуху при давлении 10—6 Па, м3/с Диаметр входного патрубка, мм Масса насоса, кг Неохлаждаемые НЭМ-100 0,1 100 46 НЭМ-300 0,3 160 140 НЭМ-1Т-1 1 260 500 НЭМ-2.5Т 2,5 380 1200 НЭМ-7Т 7 500 3000 Охлаждаемые НОРД-100 0,1 100 46 НОРД-250 0,25 160 120 ТРИОН-150:' 100 60 при охлаждении водой 0,13 при охлаждении жидким 0,2 азотом Магнитные электроразрядные и ионно-геттерные маг-ниторазрядные насосы [8-6] применяются для откачки сверхвысоковакуумных печей. Они позволяют получить предельный вакуум Ю-6 Па, а при охлаждении жидким азотом Ю-8 Па. Откачивающее действие магнитных электроразрядных насосов основано на свойстве титанового слоя, не Тип насоса Быстрота откачки воздуха при давлении ю—*—Ю-6 Па, м3/с Потребляемая мощность, кВт Ресурс непрерывной работы при давлении Ю-4 Па, ч ГИН-0,5М1 0,5 0,6 500 ГИН-2 2 4,5 1000 ГИН-5 5 6,5 1000 прерывно напыляемого на внутренние поверхности насоса, поглощать большое количество газа. Распыление титана осуществляется за счет электрического разряда, поддерживаемого между титановыми катодами и анодом, помещенными в сильное магнитное поле, к которым приложено напряжение в несколько киловольт. Главными достоинствами насосов являются отсутствие рабочей жидкости и необходимости постоянной откачки форвакуумным насосом, бесшумность и устойчивость работы при резком ухудшении вакуума. При давлении Ю-4 Па срок службы насоса достигает 10 000 ч. Недостатками магнитных электроразрядных насосов являются небольшая скорость откачки инертных газов и значительная масса. В табл. 8-9 приведены некоторые данные магнитных электроразрядных насосов. Ионно-геттерные насосы — ГИНы [8-7] (техничес
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 285 286 287 288 289 290 291... 414 415 416
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
