Электротермическое оборудование
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 284 285 286 287 288 289 290... 414 415 416
|
|
|
|
Таблица 8-7 Технические характеристики турбомолекулярных насосов Параметр ТМН-100 ТМН-200 ТМН-5000 Быстрота откачки по возду 0,13 0,25 0,50 ху в диапазоне впускных давлений 0,66—6,6-10 6 Па, м'/с Остаточное давление, Па 10—7 10—7 10—7 Мощность электродвигате 0,3 0,3 4,0 ля, кВт 18 000 Частота вращения ротора, 18 000 6000 об/мин 1,2 5,0 Количество заливаемого 0,15 масла ТМ-1, л 30 200 Расход охлаждающей воды, 30 л/ч Габариты, мм; длина 390 860 1830 ширина 360 620 800 высота 720 600 1250 Диаметры патрубков, мм: впускного 125 160 500 выпускного 32 50 100 Рекомендуемый форвакуум НВР-ЗД НВР-5Д ТМН-200 ный насос Масса, кг 110 200 1480 7 — 1— о Рис. 8-11. Схема устройства турбомолекулярного насоса. /— фланец для присоединения насоса предварительного разрежения; 2 — маслопровод; 3 — масляный насос; 4 — привод; 5 — зубчатая передача; 6 — система водяного охлаждения; 7—ротор с дисками; 8 — фланец для подсоединения откачиваемого объема; 9—статор с дисками. 10 і 10'7 —|— 1 _^ 5000 і ,тмн-?пп \ ті * * — -ГШ 1 11 10 7 ГО'7 10'$ 10'* 10-* Ю'3 10~2 10ч Па Рис. 8-12. Быстрота откачки турбомолекулярных насосов в зависимости от впускного давления. Благодаря тому что работа турбомолекулярных насосов не связана с миграцией масла в откачиваемый объем, а создаваемое ими остаточное давление высоко, эти насосы являются одними из основных, при меняемых для откачки сверхвысоковакуумных электропечей. Струйные вакуумные насосы [8-5] отличаются простотой устройства и весьма высокой быстротой откачки (до 100 м3/с и выше). Рис. 8-13. Устройство струйного вакуумного насоса. / — впускной патрубок; 2 — выпускной патрубок; 3 — верхнее сопло; 4 — нижнее сопло; 5 — эжекторное сопло; 6 — полость водяного охлаждения; 7— электронагреватель. Принцип действия струйных насосов состоит в захвате частиц откачиваемого газа струей паров рабочей жидкости. В корпус насоса (рис. 8-13) заливают вакуумное масло (насосы, заливаемые ртутью, для откачки электропечей из-за большой токсичности ртути применяются редко), которое с помощью электрического нагревателя разогревается до кипения. Пары масла по специальному паропроводу устремляются к соплам. Вытекая из сопл, пар захватывает частицы откачиваемого газа и устремляется в нижнюю часть насоса. Попадая на охлаждаемые стенки насоса, пар конденсируется, а захваченный им воздух откачивается через выпускной патрубок ротационным насосом. Максимальное выпускное давление струйных насосов не превышает 100—200 Па. В вакуумных электропечах применяются струйные насосы — бустерные с рабочим давлением 10— 0,05 Па и быстротой откачки 0,5—15 м3/с и диффузионные с 1—6,6-Ю-5 Па и быстротой откачки 0,5— 40 м3/с и более. При работе струйных масляных насосов, как бус-терных, так и диффузионных, паровая струя, выходящая из верхнего „сопла, может попасть в откачиваемый объем. Для улавливания масла насосы снабжаются маслоотражателем, представляющим из себя колпачок, прикрывающий верхнюю часть паропровода и задающий направление паровой струе. При увеличении давления в печи выше наибольшего рабочего давления насоса маслоотражатель перестает работать. По
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 284 285 286 287 288 289 290... 414 415 416
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
