Электротермическое оборудование
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 182 183 184 185 186 187 188... 414 415 416
|
|
|
|
5-19] Прецизионные электропечи сопротивления 185 8 Рис. 5-147. Нагревательная камера электропечи ОКБ-8101. 1— водоохлаждаемый кожух; 2— вывод термоэлектрического термометра; 3 — нагреватель; 4 —вывод нагревателя; 5—футеровка; 6 — гребенка; 7 — муфель; 8 — роликовые направляющие. Особенностями конструкции электропечей, предназначенных для проведения технологических процессов диффузии при производстве полупроводниковых приборов, являются: применение блочной компоновки нескольких нагревательных камер в одной установке; использование многозонных нагревателей для повышения равномерности распределения температуры в рабочей камере; применение высокоточных программных регуляторов для повышения уровня автоматизации процесса; применение сервисных устройств, позволяющих загружать и выгружать изделия в ламинарном потоке обеспыленного воздуха (ламинарный блок), а также проводить очистку, дозирование, индикацию и стабилизацию расхода технологического газа. Трубчатая двухкамерная электропечь сопротивления СУОН-1,2.6.1-2/13,5 (ОКБ-8101) состоит из блока нагревательных камер с электросиловой аппаратурой и системой водоохлаждения. Блок нагревательных камер выполнен в виде единой конструкции, в верхней части которой смонтированы две нагревательные камеры, расположенные горизонтально одна над другой. Нагревательная камера (рис. 5-147) имеет цилиндрическую форму. Нагреватель в виде спирали плотно, почти без зазора, расположен в футеровке. Рабочее пространство электропечи образовано арочным алундовым муфелем. Изделие загружают и выгружают через отверстие в торце печи, закрытое дверцей. Чтобы сформировать температурное поле по длине рабочего пространства, нагреватель разбит на три зоны, имеющие независимое электропитание и регулирование. В каждой камере температуру регулируют тремя высокоточными регуляторами температуры со встроенными в них блоками управления тиристорами. Температурный уровень в камере поддерживают регулятором центральной зоны, соединенным с термоэлектрическим термометром. Температурная площадка по длине камеры обеспечивается регуляторами крайних зон, поддерживающими заданный разбаланс ЭДС термопар крайней и средней зон. Трубчатая трехкамерная электропечь СУЗН-1.6-3/12,5 (ОКБ-8129) предназначена для проведения прецизионных термических процессов диффузии в потоке газа и состоит из блока нагревательных камер электропечи, а также блоков газораспределения и ламинарного. Электропечь имеет три нагревательные камеры, расположенные горизонтально одна над другой, регулирующую и контрольную аппаратуру. Конструкция нагревательных камер и система их охлаждения такие же как у электропечи ОКБ-8101. Отличие заключается лишь в размерах. Рабочее пространство печи образовано круглым алундовым муфелем, внутри которого установлена кварцевая труба, где и проводится технологический процесс. Схема газораспределения нагревательных камер позволяет проводить комплекс технологических операций — диффузию, окисление и др. Конструкция блока позволяет вести технологические процессы одновременно во всех трех камерах. Очищенный газ под давлением подается на входные запорные вентили и при их открывании поступает через фильтр и стабилизатор в магистраль соответствующего технологического пространства. Каждая газовая магистраль оснащена ротаметрами, позволяющими регулировать расходы газа в широких пределах. Схемой предусмотрена возможность подачи газа через испарители или увлажнители, а также непосредственно в технологические муфели. Обе электропечи выпускаются как левого, так и правого исполнения, что позволяет более экономично размещать оборудование в помещении, а также с сервисными устройствами и без них. Ниже в качестве примера приводится краткое описание конструкции высокотемпературных электропечей, предназначенных для выращивания монокристаллов оптических материалов из расплава горизонтальным и вертикальным методами. Установка £ГВК-25.100.250/22, общий вид которой показан на рис. 5-148, представляет собой высокотемпературную вакуумную электропечь сопротивления колпа-кового типа, предназначенную для получения монокристаллов, корунда из расплава методом горизонтальной направленной кристаллизации. Технологическая зона электропечи образована нагревателем и системой вольфрамовых и молибденовых экранов, формирующих необходимое температурное поле, содержащее участки плавления, кристаллизации и отжига. Нагреватель, имеющий вид замкнутого прямоугольника, изготовлен из вольфрамовых прутков. В ходе рабочего процесса контейнер с шихтой перемещают на "волокуше" через внутреннее пространство нагревателя в направлении, перпендикулярном его виткам. В высокотемпературной зоне шихта плавится, при дальнейшем движении контейнера через участок с большим градиентом температуры расплав кристаллизуется, образуя монокристалл. Температурно-временной режим работы электропечи в процессе выращивания кристалла определяется прецизионной системой регулирования, выполненной с использованием датчиков мощности на высокотемпературных термоэлементах типа ТЭМ-1, регуляторов ВРТ и программирующих блоков типа БПВ-8. К электротермическому оборудованию для получе
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 182 183 184 185 186 187 188... 414 415 416
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
