Рис. 9.10. Морфологія поверхні газофазних покриттів, отриманих при низькотемпературному (а), се-редньотемпсратурному (б) і високотемпературному (в) режимах

У середиьотемпературній ділянці поверхня металевих покриттів має сфероїди другого типу з розмірами в 5—10 разів меншими, ніж розміри сфероїдів, які одержані в низькотемпературній ділянці.

У високотемпературній ділянці поверхня металевих покриттів складається з хаотично орієнтованих дуже малих кристалів, розміри яких у 10—15 разів менші, ніж розміри сфероїдів другого типу.

Таким чином, підбираючи технологічні параметри процесу, можна отримувати газофазні металеві покриття з потрібним рельєфом поверхні. Внутрішня будова покриттів, одержаних у низько-, середньо- і високотемпературних ділянках, має також три типи структури (рис. 9.11).

Внутрішня структура покриттів, отриманих у низькотемпературній ділянці, має горизонтально-шаровий характер будови. Покриття складаються лише з поперечних шарів з темними включеннями. Домішки концентруються переважно по межах зерен.

Другий тип структури утворюється за середнього інтервалу температур і різко відрізняється від першого. Покриття цього типу складаються з характерних вертикально-стовпчастих утворів, іноді — з горизонтальними примежовими шарами.

У високотемпературній ділянці утворюються покриття з дрібнокристалічною структурою. Цей тип внутрішньої структури нагадує третій тип мікрорельєфу поверхні покриттів, отриманих у цих же інтервалах температур.

Залежність швидкості наростання газофазних покриттів від температури основи характеризується кривою з максимумом (рис. 9.12).

Рис. 9.11. Внутрішня бу дова покриттів, отрима них в низькотсмператур ній (а), середньотсмпера турній (б) і високотсмпе ратурній (в) ділянках