вузлових положеннях. І навпаки — атоми бору і фосфору зумовлюють дрібні акцепторні чи донорні рівні лише тоді, коли вони опиняються у вузлах кристалічної ґратки.

Якщо імплантацією вводиться домішка, яку використовують при створенні дифузією р—л-переходів, заздалегідь відомо, що при високих температурах атоми домішки займають такі місця в ґратці, де вони виявляють необхідні електричні властивості. Оскільки при імплантації в процесі гальмування не всі іони потрапляють у ці місця, то наступне прогрівання при високій температурі сприяє порядку розміщення атомів, який характерний для дифузійних шарів. Отже, при виготовленні напівпровідникових структур іонною імплантацією високотемпературна обробка є невід'ємною частиною технологічного процесу.

До переваг використання легких іонів належить також простота отримання інтенсивних пучків, більша глибина проникнення при однакових початкових енергіях, малі коефіцієнти розпилення поверхні. У залізі і сталях при невеликих концентраціях імплантований азот розміщується в октаедричних порах (Ре2Н, Ре3Ч Ре4Н).

Можливе також утворення карбонітридів за участю наявного у сплаві вуглецю або атомів, які потрапляють на поверхню твердого тіла з навколишнього середовища (під час використання для отримання вакууму парамастильних дифузійних насосів). Для підвищення зносостійкості найбільш сприятливою є є-кар-бонітриди Ре21(С, ЇМ).

Значний вплив на зміну механічних властивостей імплантованих шарів мають вакансії, які генеруються при опроміненні. У залізі вакансії активно взаємодіють з азотом, що приводить до появи рухомих комплексів і розчинення нітридів. У сплавах, які містять у собі Сг, а також у титанових сплавах, азот стабільніший. У легованих шарах титану не спостерігається ознак рухомості азоту включно до температури 700 °С.

Для високохромистих сталей при легуванні азотом характерне утворення нітридів хрому СгІМ, Сг2ТМ, причому утворення Сг2Н більш типове для мартенситних сталей. В окремих випадках спостерігається зростання зносостійкості згаданих сталей на три порядки.

При збільшенні твердості поверхневого шару заглибних домішок занурення неминуче призводять до зниження коефіцієнта тертя внаслідок зменшення площі фактичного контакту матеріалів. Крім того, зниження тангенціального компонента контактних напружень означає зменшення площі фактичного контакту.