Інженерія поверхні: Підручник
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 449 450 451 452 453 454 455... 545 546 547
|
|
|
|
1 2 З :_і_і Рис . 6.15. Схеми установок іонної імплантації:а — установка малих і середніх доз; б — установка з розподілом за масою після прискорення; а — сильнострумова установка; г — високоенергетична установка; д — установка великих доз із джерелом, яке знаходиться під високим потенціалом: / — джерело іонів; 2 — система витягування і первинного формування пучка; 3 — мас-сепара-тор; 4 — високовольтний модуль; 5 — регульована діафрагма; 6 — система прискорення; 7 — фокусунальна лінза; 8 — пластини скапування пучка; 9 — приймальна камера
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 449 450 451 452 453 454 455... 545 546 547
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
|
|
|
