рон набуває середньої теплової швидкості вільних електронів речовини

сіЕс,(6.17)

де Есл — середня теплова енергія електронів середовиша. Відповідно, за Шотландом:

б 2,1-10-15^,(6.18)

де р — густина матеріалу, кг/м3; с(,рик — прикладена напруга, В; 8пр — довжина пробігу, м.

Із виразів (6.17), (6.18) випливає, шо 5пр~£е2 - сУ2ріІК.

У діапазоні енергій електронів 0,5—3000 кеВ 8пр -і/^,2.

Крім непружних взаємодій швидких електронів з частинками середовища, відбуваються і пружні співудари. Пружні співудари, які не призводять до втрат енергії, суттєво впливають на розподіл енергії електронами по довжині пробігу внаслідок розсіювання.

Під час гальмування електрони пучка взаємодіють з ядрами та електронами мішені. Зіткнення з ядрами через велику різницю мас мають головним чином пружний характер, при цьому напрямок руху електронів істотно змінюється. Енергія передається внаслідок зіткнень з електронами матеріалу мішені.

Як і в разі лазерного опромінення, енергія цих електронів відразу передається гратці у вигляді теплоти. За короткий час опромінення нагрівання відбувається квазіадіабатично. Вплив теплопровідності при цьому дуже малий, і профіль температури повторює профіль втрат енергії електронів у зразку.

Розсіювання енергії в глибині матеріалу визначає зміну температури на стадії нагрівання.

Якщо в разі лазерного опромінення максимум профілю поглиненої енергії знаходиться на поверхні, то для гомогенного середовища поглинання і відбивання може бути дуже чутливим до структури поверхневого шару.

Під час електронного опромінення поглинання енергії залежить тільки від енергії електронів Е і атомного номера Z речовини мішені. У першому наближенні профіль поглиненої енергії може бути апроксимований розподілом Гаусса:

ехР-(л--л;)72с72,