6.2. Модифікування поверхні електронним променем

Електронний промінь — потік електронів, що випромінюються одним джерелом і рухаються по близьких траєкторіях у певному напрямку. Електронний промінь створюється спеціальним приладом — електронною гарматою (рис. 6.11), за допомогою якої отримують вузькі електронні пучки з великою густиною енергії.

Гармата має катод З, який може нагріватися до високих температур. Катод розміщений всередині додаткового електрода 4. На деякій відстані від катода знаходиться прискорювальний електрод (анод) 5 з отвором. Електрони, які виходять із катода, фокусуються за допомогою електричного поля між додатковим і прискорювальиим електродами в пучок, діаметр якого дорівнює діаметру отвору в аноді 5.

Позитивний потенціал прискорювального електрода може досягати кількох десятків тисяч вольт, тому електрони, які випромінюються катодом, на шляху до анода набувають значної

Рис. 6.11. Схема елсктронно-промсневої установки:

/ — електронна гармата; 2 — нагрівник: З — катод; 4 — додатковий електрод; 5 — анод; 6— магнітна лінза; 7 — система відхилення; 8, 10— затвори; 9 — дифузійний насос; 11 — форвакуумний насос: 12 — привід маніпулятора; ІЗ — виріб; 14 — вакуумний об'єм; 15 — високовольтне джерсіо постійного струму