Рис. 4.48. Схема випаровування неметалевих композиційних матеріалів (я) з довантаженням тигля подачею матеріалу зверху; металевих сплавів (б) з довантаженням тигля знизу

б

Різновидом методу отримання покриттів у стаціонарному режимі є метод спалаху. При цьому методі у випарник, в якому знаходиться розплавлений метал при температурі випаровування або вище за температуру компонента, що важко випаровується, безперервно або порціями подається легуючий компонент сплаву. При попаданні частинок на перегрітий метал відбувається миттєве розплавлення і випаровування матеріалу і на виробі формується покриття з рівномірним розподілом компонентів за товщиною конденсату.

Випаровування кінцевих наважок готових сплавів — найпростіший із точки зору конструктивного рішення спосіб отримання багатокомпонентного покриття. Цей спосіб використовується для отримання тонких (до 2—5 мкм) плівок переважно для електронної техніки і декоративного покриття. Для нього характерне нерівномірне розміщення компонентів за товщиною: початкові шари збагачені легколетким компонентом, а в загальних шарах переважає речовина з низьким тиском насиченої пари при даній температурі випаровування. Матеріал, що випаровується, це або готові сплави, або, як правило, спечена в таблетки механічна суміш компонентів сплавів.

Роздільне випаровування (рис. 4.49) як метод отримання багатокомпонентних покриттів використовують тоді, коли за технологічними міркуваннями методи прямого випаровування застосовувати недоцільно або неможливо. Цей метод дає можливість отримати покриття зі сплавів, компоненти яких різко відрізняються за термодинамічними параметрами випаровування (наприклад, Ая-Ссі, Си-Хп, Си-Ссі тощо), покриття зі змінним скла-