Таблиця 4.6. Умови утворення нітриду титану

'Твердість ви.мірюваїась при навантаженні на індентор 0,25 Н

Технологія створення багатокомпонентних та мікрошарових покриттів. У конденсованих матеріалах чітко виявляється залежність механічних властивостей від структури. Одночасно з можливістю зміни в широких межах структури в конденсатах порівняно з масивними матеріалами з'являється ще додатковий фактор впливу на показники зміцнення — товщина. У сконденсованих плівках товщиною, меншою, ніж І мкм, коли дискретність субструктури порівнюється з товщиною плівки, міцність її істотно підвищується. Враховуючи, що товшина захисного покриття дуже часто більша за 15—20 мкм, то підвищення міцності внаслідок малої товщини може бути досягнуто в особливих мікрошаруватих покриттях. Тому до перспективних матеріалів, які отримуються у вигляді товстих конденсатів, належать мікрошаруваті композиції, які складаються з великої кількості мікрошарів із різних матеріалів, які перемежуються.

Вища міцність товстих конденсатів також отримується у двофазних матеріалах. У жароміцних покриттях практичний інтерес становлять товсті дисперсно-зміцнені конденсати типу метал (сплав)—тугоплавкий оксид з термічностабільною структурою.

На практиці багатокомпонентні системи покриттів можна отримати такими способами.

Випаровування з довантаженням (в літературі частіше користуються терміном "випаровування в стаціонарному режимі") використовують при отриманні товстих (від десятків мікрометрів) покриттів на нерухомих і рухомих поверхнях, на які наноситься покриття, в установках безперервної, напівперервної та періодичної дії. Для довантаження використовують або готовий сплав, або один із його компонентів.

Характерною особливістю випаровування в стаціонарному режимі є рівномірний розподіл компонентів за товщиною покриття.

Довантаження тигля може відбуватись або зверху (рис. 4.48, а), або знизу (рис. 4.48, б) тигля.