Інженерія поверхні: Підручник






Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу Інженерія поверхні: Підручник

Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .



Страницы: 1 2 3... 342 343 344 345 346 347 348... 545 546 547
 

Я = ^,(4.53)

де /У0 — кількість вибитих атомів матеріалу, що розпилюється; /V, — кількість іонів, що падає на розпилюваний матеріал.

Як було вказано раніше, коефіцієнт розпилення 5 залежить від атомного номера та структури електронних оболонок. У табл. 4.5 наведені коефіцієнти розпилення та середні швидкості магнетронного напилення деяких матеріалів. Для розпилення використовували плоскі мішені діаметром 150 мм. Потужність тліючого розряду становить 4 кВт, дистанція напилення — 60 мм.

Великий вплив на ефективність процесу мають форма і розмір розпилюваного матеріалу. Розміри поверхні розпилення повинні відповідати потоку плазми тліючого розряду. Як правило, розміри поверхні розпилення беруть близькими до розмірів напилюваної поверхні. Залежно від способу іонного розпилення площу мішені, яка розпилюється, вибирають у широких межах — від десятків до тисяч квадратних сантиметрів.

Особливості процесу вакуумно-копденсаційпого реакційного напилення покриття. Вакуумно-конденсаціііне реакційне напилення покриття використовується у випадках, коли сполука, яка напилюється, розкладається при дії термічного поля.

Суть реакційного напилення в тому, що внаслідок зіткнення атомів металу і атомів реакційного газу — азоту, метану та інших газів — утворюються нітриди і карбіди. Для утворення оксидів використовують кисень.

Введення активних газів у вакуумну камеру забезпечує плазмо-хімічні реакції з речовиною, що розпилюється, і утворення на по-

Таблиця 4.5. Коефіцієнт розпилення в і швидкість зростання покриття Уп для деяких матеріалів

353

rss
Карта
 






Страницы: 1 2 3... 342 343 344 345 346 347 348... 545 546 547

Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу


Металлургия дуговой сварки: Процессы в дуге и плавление электродов
Металлургия дуговой сварки: Взаимодействие металла с газами
Дефекты сварных швов
Інженерія поверхні: Підручник
Соединение металлов в твердой фазе
Холодная сварка труб
Высокочастотная сварка металлов

rss
Карта