кому вакуумі відбувається фізичне і хімічне очищення поверхневого шару виробу, значне розігрівання поверхневого шару, а основна маса виробу залишається відносно холодною. Це викликає появу значних напружень стискання, які сприяють затягуванню мікротрішин, поліпшенню робочих характеристик поверхні виробу, і веде до захоплення частинок матеріалу, що напилюється, з розігрітим шаром поверхні.

Час іонного бомбардування визначається теплофізичними властивостями матеріалу.

Третя стадія — безпосереднє нанесення покриття заданої товщини на поверхню, що обробляється.

Властивості покриття визначаються параметрами процесу — температурою конденсації і швидкістю нанесення покриття. Температуру конденсації, яка залежить переважно від властивостей матеріалу основи (виробу), підтримують сталою протягом усього процесу нанесення покриття. Швидкість конденсації покриття визначається густиною іонного струму і енергією частинок, що напилюються. Це регулюється підбором параметрів процесу — видом робочого газу, густиною іонного струму, при-скорювальною напругою між катодом і виробом, індукцією магнітного поля. У стандартних технологічних процесах швидкість нанесення покриття знаходиться в діапазоні 5—10 нм/с. Час технологічного циклу отримання покриття регламентується переважно товщиною покриття.

Отримання на поверхні виробу хімічних сполук досягається використанням контрольованої атмосфери робочого (легуючого) газу.

Для переходу від одного матеріалу, що напилюється, до іншого слід замінити внутрішній диск або дротик катода.

При нанесенні зносостійких покриттів на різальний інструмент необхідно враховувати особливості матеріалів, на які наносяться покриття. Так, нанесення покриття на інструмент типу твердосплавних пластин (Т15К6, Т5К10 тощо) не вимагає суворого дотримання температурного режиму конденсації. У досить широкому інтервалі температур (623—973 К) можливе отримання якісного покриття з непоганою адгезією до підкладки. При цьому механічні характеристики основи практично не змінюються.

При нанесенні покриття на вироби з деяких інструментальних сталей необхідно враховувати температурні обмеження, пов'язані з можливою зміною фізико-механічних властивостей основи. Наприклад, при нанесенні покриттів на сталь Р6М5 тем-