Технічне устаткування і обладнання, що знаходиться у вакуумній камері, необхідно піддавати механічному очищенню переважно за межами камери. Це насамперед стосується розбірних деталей та вузлів обладнання, доступ до яких у камері ускладнений, і демонтаж яких не може порушити роботу механізму в цілому.

Механічному очищенню підлягають механічні забруднення: окалина, іржа, мастильний матеріал, сконденсовані матеріали тощо. Поверхню обробляють металевими щітками, наждачним папером, ганчір'ям. Грубе механічне очищення доповнюють тонким, яке може складатися зі шліфування, полірування поверхні пристроїв.

Особливу увагу при проведенні механічного очищення необхідно приділяти використанню індивідуальних засобів захисту персоналу, зокрема, від попадання частинок матеріалу в дихальні органи людини, на шкіру, очі тощо.

Враховуючи, що обробку в тліючому розряді виконують у вакуумній камері на стадії попереднього відкачування, перед обробкою поверхні виробу доцільно очищати стінки камери, пристрої та обладнання, що знаходяться в камері, для знегажування їх поверхні. Для цього незалежно від системи живлення розряду блока очищення поверхні виробу камеру необхідно забезпечити вузлом так званого катодного очищення.

Крім очищення поверхні виробу та обладнання і пристроїв, що знаходяться у вакуумній камері, треба попередньо підготовити випарник (тигель) та метал, що в нього завантажується. Для цього використовують хімічне очищення та термообробку.

Для хімічного очищення кожного металу, що випаровується, і випарника з урахуванням його матеріалу використовують спеціальні склади рідин для травлення, наприклад, для алюмінію — розчинену HCl і розчини, луг; Au — "царську горілку"; W — суміш HF та HNO,; Ni — розчинені HCl, H2S04, концентровану HNO, тощо.

Технологія нанесення покриттів термічним випаровуванням.

Техніка отримання захисних покриттів термічним випаровуванням досить проста. Залежно від обладнання, що використовується, устаткування, яке знаходиться у вакуумній камері, і способу нагрівання матеріалу необхідно виконати низку послідовних операцій з підготовки установки до роботи та встановлення оптимальних режимів випаровування і конденсації. До них належать:

• вибір відносного положення випарника і поверхні виробу;