Реакцію між металом і азотом можна стимулювати активацією та іонізацією атомів. Це легко досягається при використанні дугових способів реакційного термовакуумного іонно-плазмового розпилення та реакційного осадження покриття при магнетронному іонному розпиленні. Іонізація потоку пари зумовлює високі швидкості плазмово-хімічних реакцій у просторі випаровування та на поверхні напилення. Концентрацію азоту в напиленому покритті регулюють тиском азоту в камері. Однак сильно впливає і від'ємне зміщення, що подається на виріб, який напилюється.

Оксидні покриття найбільш універсальні і можуть бути використані як зносостійкі, корозійностійкі і жаростійкі, теплозахисні і електроізоляційні покриття.

У багатьох агресивних середовищах, особливо при високих температурах, оксиди більш стійкі, ніж карбіди, бориди і нітриди Вони мають низьку тепло- та електропровідність, високу твердість та зносостійкість до окиснювального середовища.

При вакуумно-конденсаційному напиленні оксидного покриття найбільш доцільно використовувати реакційні методи іонно-плазмового напилення — Plasma Assisted Physical Vapor Deposition (PA PVD). Для иього в робочу камеру крізь натікач подасться активний окиснювальний газ — найчастіше кисень. Цим методом можна отримати тонкі чисто оксидні покриття і складні композиційні з добавками різних металів та сполук інтерметалід-ного та металоїдного типів, причому доданий компонент може бути розміщений у покритті у вигляді окремих включень (дисперсно-зміцнені шари), а також у вигляді шарів (мікрошаруваті покриття) зі зміною за товщиною покриття концентрації (градієнтні покриття).

4.8. Технологія вакуумно-конденсаційного нанесення покриттів

Особливості підготовчих робіт перед нанесенням покриттів вакуумно -конденсаційними методами. Як відомо, стан поверхні перед нанесенням покриття визначає якість сконденсованого шару, функціональні характеристики покриття і, зокрема, адгезію. У практичному відношенні найбільш важливими є процеси, що визначають енергетичний стан поверхні, а також характер зародження і росту сконденсованих плівок і подальші властивості покриття.

Для вакуумно-конденсаційних методів нанесення покриття в загальному випадку склад і будова поверхневої плівки залежать