ється отримати покриття практично без змінення складу. І навпаки, при випаровуванні сполук WC, SiC, AIN, ZrN створюються продукти дисоціації з дуже різною леткістю елементів. Для отримання покриття такого складу необхідно використовувати роздільне випаровування елементів сполуки або застосовувати методи вакуумного реакційного напилення.

При вакуумному конденсаційному напиленні методами розпилення практично можна уникнути впливу різної леткості елементів металоїдної сполуки па склад покриття.

Карбіди широко використовують для напилення зносостійкого, корозійностійкого, жаростійкого покриття. Більшість із них мають високу температуру плавлення та твердість при нормальних та підвищених температурах, жаростійкість та стійкість до агресивного середовища.

Нітридні покриття можна використовувати для створення зносостійкого, корозійностійкого та жаростійкого покриття, а також покриття зі специфічними властивостями.

При високих температурах нагрівання напилювані частинки дисоціюють, тому ие треба враховувати при напиленні:

(MeN)„= Метв+ 1/2 N2(m).

Найстійкішими є нітриди титану, цирконію, гафнію, танталу, алюмінію та ін.

Для створення тонкого нітридного покриття товщиною 1 — 180 мкм найбільшого поширення отримали методи вакуумного конденсаційного реакційного напилення за наявності азоту.

Враховуючи, що більшість нітридів, як і карбіди, являють собою фази вкорінення зі шільною кубічною або гексагональною кристалічною ґраткою, формування вакуумного реакційного покриття полегшується у зв'язку з широкими межами гомогенності, які властиві нітридним сполукам.

НітридTïN ZrNVNNbN TaN

Масова частка N2, % 37—50 34—50 41—50 50—51 44—47

Реакція утворення нітридів відбувається переважно на поверхні, яка напилюється. Характер течії реакції залежить від швидкості попадання на поверхню атомів металу та азоту, коефіцієнта їх конденсації, температури поверхні. Розрахунки показують, шо кількість зіткнень металу і газу при напиленні нітриду титану стане однаковою при тиску азоту в камері fNi =

'2