2 З

Рис. 4.43. Конструктивні схеми магнетронних схем розпилення:

о — циліндрична з внутрішнім розміщенням катода; 6 — циліндрична із зовнішнім розміщенням катода: в — система з конічним катодом ^-вип; г — планарна система; / — катод (мішень); 2 — анод; З — тримач підкладки; 4 — магнетронна система: 5— екран. Стрілочками показано напрямок силових ліній магнітного поля

Існує багато конструкційних варіантів MPC, які розрізняються способом створення магнітного поля, конструкцією катодного вузла, геометрією мішені. Розроблено три базові конструкції магнетрона: циліндрична з циліндричним катодом, планарна з плоским катодом і так звана 5"-Gun з кільцевим конусоподібним катодом, яку іноді розглядають як різновид циліндричної (рис. 4.43). Установка УВН-61 має циліндричну (коаксіальну) магнетронну систему, в якій катод із матеріалу, шо розпилюється, виконано у вигляді труби (рис. 4.43, о).

Магнетронна система встановлена у внутрішній порожнині труби, і при цьому розпилюється зовнішня поверхня катода.

Плазма локалізується біля поверхні катода, що розпилюється, за допомогою кільцевого арочного магнітного поля. Підкладки розміщуються навкруг катода. Для наведеної схеми характерні густина струму 60 мА/см2 та досить висока рівномірність покриття.

Установка УВН-61 складається з основи, ковпакової робочої камери з підковпаковим пристроєм, механізмом, для підйому ковпака, вакуумної системи, системи охолодження і пульта керування з електронним блоком.