Напруга живлення, В.380

Частота напруги живлення, Гц.50

Максимальна площа поверхні, що напилюється, дм: .приблизно 25 Швидкість осадження покриття одним джерелом плазми на нерухому основу при номінальному режимі на відстані 50 мм від зрізу анода, мкм/год . . . .15—50 Напруга холостого ходу джерела живлення дугових випаровувачів, В .не менше, ніж 100

Струм дуги, А .,до 150

Регулювання струму дуги, плавно, А.80—150

Напруга холостого ходу випрямляча іонного бомбардування, кВ.не менше, ніж 1,7

Кількість джерел плазми .З

Діаметр потоку плазми на виході з джерела, мм .200

Робочий тиск у камері, Па.2,6 • 10~3—6,5 ■ 10"'

Час відкачування камери до тиску 1,3 Па, хв . . . .до 20 Час відкачування камери до тиску 2,6 ■ 10-1 Па паро-

мастильним вакуумним насосом, хв.до 20

Максимапьні розміри деталі, що напилюється, мм:

діаметр . .,400

висота . .200

Навантаження на шпіндель поворотного пристрою, кгне більше, ніж 50

Тривалість робочого циклу, хвне більше, ніж 90

Випрямляч для іонного бомбардування має шість ступенів регулювання: 0,1; 0,3; 0,5; 0,8; 1,1 і 1,7 кВ та забезпечує максимальний струм у режимі іонного бомбардування, не більший, ніж 15 А.

На рис. 4.42 наведено схему установки "Булат" з одним випарником.

Базовою деталлю установки є камера / з водяним змієподібним охолодженням. Відкачувальні насоси 5 забезпечують у камері вакуум до 10~2—10~3 Па. Для виморожування пари мастила передбачена азотна пастка б. Дуговий розряд виникає між водо-охолоджуваним анодом 8 та матеріалом, який розпилюється катодом 9. Для збудження дуги використовується допоміжний електрод //.

Електродуговий прискорювач плазми 10 працює від силового спеціалізованого джерела постійної напруги. Для екстракції іонів із плазмового потоку та їх прискорення в напрямку до виробу, що напилюється, використовується високовольтне джерело живлення 7. Від нього на виріб 2, який напилюється, подається від'ємне зміщення напруги від десятка вольт до 2—3 кВ. Електромагнітні котушки стабілізують катодні плями на зовнішнії"! поверхні матеріалу, що розпилюється, фокусують та прискорюють