Нагрівання основи до заданої температури здійснюється двома допоміжними гарматами зі стабілізаторами температури, які керуються термопарами. Рівномірність нагрівання деталі, що напилюється, досягається скануванням електронних променів за заданою програмою за допомогою спеціального генераторного пристрою.

Для випаровування металевої основи мікрошаруватих матеріалів служать дві гармати. Кожна з них має автоматичний регулятор струму променя, який керується сигналом із високовольтного датчика струму.

Випаровування оксидів здійснюється за допомогою трьох гармат. Стабілізація робочого струму кожної гармати також забезпечується автоматичними регуляторами струму, які керуються датчиками струму.

Використання системи автоматичної стабілізації режиму випаровування стабілізацією струму емісії дає можливість отримати високоякісні та однорідні за складом матеріали при випаровуванні з кількох тиглів.

В установках УЭ-175 попереднє електронне нагрівання виробів проводиться в допоміжних камерах (див. рис. 4.40), розміщених з обох сторін від робочої камери. Передбачено автоматичну систему контролю керування технологічним процесом випаровування на базі мініЕОМ.

Для напилення покриття електронно-променевим випаровуванням великогабаритних деталей діаметром до 2,5 м та висотою до 2 м створені установки типу УТН.

Широке поширення для напилення виробів електронної техніки отримали установки УВН-73П-5, УВН-83-1, "Лада-5" та ін. У них використано циліндричні горизонтальні камери з пристосуванням барабанного типу для кріплення виробів, які напилюються, та вертикальні ковпакові камери з транспортувальними пристроями карусельного типу.

Установки для вакуумного напилення покриття з іонним бомбардуванням. Є кілька типів установок високошвидкісного розпилення дугою низького тиску. Найбільшого поширення набули установки типу "Булат".

Установки "Булат" призначені для синтезу твердих матеріалів та нанесення їх у вигляді покриття методом конденсації матеріалу, який випаровується та розпилюється у вакуумі електричною дугою, та іонним бомбардуванням різального інструмента і деталей машин та інструментального оснащення.