що випаровується, — встановлені на плиту //, яка за допомогою гвинтової пари 10, приводу 12 та роликової системи в процесі випаровування може пересувати тиглі або здійснювати їх зворотно-поступальне переміщення за заданою програмою. Це дає змогу розширяти можливості установки та вводити домішки, наприклад оксиди, у металеві матеріали, які випаровуються, таким чином, що характер їх зміни в матеріалах підпорядковується практично будь-якому наперед заданому закону. Вхід 6 системи водяного охолодження тиглів та рухомої плити зроблено через допоміжну камеру.

Завантаження матеріалів та обслуговування робочої камери відбувається через передні двері 16. Робочі гармати захищаються від перегрівання та запилення водоохолоджуваним екраном 4.

Спостереження за ходом процесу випаровування ведеться через оглядову систему 19, яка змонтована на передніх дверях камери. Освітлення всередині камери створюється випромінюванням світла поверхнею матеріалу, що випаровується, розігрітого до високої температури електронними потоками.

Для зниження забруднення скла оглядової системи перед ним встановлюється диск 18, що обертається під дією рухомого електромагнітного поля. Після досягнення стабільного режиму випаровування оглядове вікно закривається заслонкою 77, яка відкривається тільки для періодичного спостереження за ходом процесу. Це дає змогу набагато підвищити термін використання оглядового скла без очищення його від конденсату.

Особливістю установки є відокремлення електронних гармат від зони випаровування за допомогою вертикальної 14 та горизонтальної 5 плит та їх роздільне вакуумування. Це поліпшує стабільність роботи електронно-променевих нагрівників.

Робочий вакуум 1,3 ■ ІО"2—1,3 ■ 10~3 Па в камері створюється за допомогою форвакуумного насоса ВН-4Г, бустерного насоса БН-3 та двох вакуумних агрегатів ВА-8-4 і АВП5-4.

Усі електронні гармати установки УЭ-366М заживлені при-скорювальною напругою 18 кВ від загального високовольтного блока, який складається із силового трансформатора та випрямляча.

Кожна гармата має свій трансформатор розжарювання катода, який керується магнітним підсилювачем. Роздільне живлення катодів електронно-променевих гармат разом із роздільним живленням електромагнітів і керування положенням променя в просторі дає змогу отримати одночасно сім незалежних електронних променів різної потужності.