використовують різні типи установок, які розрізняються між собою способом нагрівання матеріалу, що випаровується. Це установки з резистивними, електронно-променевими, ВЧ-індукцін-ними та дуговими випарниками. На рис. 4.39 показана базова модель установки УВН-2М з резистивним нагрівником. Вона призначена для відпрацювання технології напилення та серійного виробництва плівкових елементів і схем.

Установка випускається в однокорпусному виконанні з камерою ковпакового типу розміром 0 500x640 мм з об'ємом 0,12 м\ яка розміщена на базовій плиті. Вертикальний підйом камери відбувається за допомогою гідравлічного механізму. У внутрішній порожнині камери розмішені випарники, напилювані вироби, каруселі, екрани та інше оснащення. Для напилення покриття в багатоопераційному варіанті є карусель випарників на п'ять позицій.

Максимальна температура напилюваного матеріалу становить 1500 °С. Джерело живлення (див. рис. 4.36) має однофазний трансформатор, в якому передбачені чотири ступені регулювання з напругою холостого ходу 4, 8, 16 та 32 В, та тиристорний регулятор напруги для плавного регулювання сили струму в ре-зистивному випарнику від 60 до 500 А. Потужність джерела живлення становить до 20 кВт.

Установки електронно-променевого напилення. Установки електронно-променевого напилення покриття є досить складними та енергоємними агрегатами. Вони розраховані на безперервну роботу протягом 10—15 год і більше. Блок-схема з переліком основних вузлів електронно-променевої установки УЭ-175М показана на рис. 4.40.

На практиці використовується багато промислових та експериментальних установок з електронно-променевими випарниками. Поширення отримали установки УЭ-137, УЭ-175, УЭ-366М, розроблені ІЕЗ ім. Є.О. Патона НАН України, які досить широко використовуються для нанесення захисного покриття на лопатки газотурбінних двигунів та інших виробів.

Дослідно-промислова електронно-променева установка УЭ-366М дає можливість отримати багатокомпонентні дисперс-нозміцнені та багатошарові конденсати з різних матеріалів на плоскі нерухомі підкладки, а також на лопатки газотурбінних двигунів.

Функціональну схему установки наведено на рис. 4.41. Установка складається з вакуумної камери, що має сім електронних гармат, системи створення вакууму і а електрообладнання.