Рис. 4.36. Схема електроживлення резистивних нагрівників:

РН — регулятор напруги; К — резистивний нагрівник; Тр — трансформатор; \\\ та К/,— кількість витків в обмотках трансформатора

Основні вимоги до джерел живлення фокусівної ФК та від-хильної ВК електромагнітних котушок блоків БФК і БВК полягають у необхідності високої стабільності вихідної напруги з мінімальною пульсацією та можливістю регулювання сили струму у широких межах.

При напиленні покриття термічним випаровуванням із застосуванням для нагрівання вакуумної дуги анодної форми доцільно використовувати джерела постійного струму зі спадною або стрімко спадною вольт-амперною характеристикою. Напруга холостого ходу має перебувати у межах 40—60 В, а номінальний струм дорівнювати приблизно 1 кА. Цим вимогам відповідають зварювальні генератори типу ПСО, зварювальні випрямлячі типу ВСВУ та аналогічні джерела живлення.

При виборі джерела живлення установок термічної сублімації з іонним бомбардуванням і вибуховим розпиленням матеріалу дугою катодної форми необхідно враховувати стійке існування розряду в діапазоні сили струму від десятків ампер до одиниць кілоампер і напрузі горіння дуги 10—30 В, а також те, шо вакуумна дуга катодної форми при силі струму до 1 кА має пологос-падну з переходом у жорстку вольт-амперну характеристику.

Вимоги до джерела живлення для установок іонного розпилення визначаються вольт-амперною характеристикою нормального тліючого розряду в газовому середовищі при низькому тиску. Вид характеристики залежить від тиску газів у камері, напруги джерела живлення, конфігурації електродів, густини роїряд-ного струму та ін.

З аналізу умов горіння тліючого розряду визначимо такі вимоги до джерел живлення (рис. 4.38).

Регулятор напруги має забезпечувати потужність від 5 до 50 кВт з діапазоном регулювання напруги 0,3—2,0 кВ і сили струму 0,01 —1,5 А. Для цього, як правило, використовують трифазний тиристорний регулятор напруги (РН). Напруга з регулятора подається на підвищувальний трансформатор ПТ і далі на трифазний діодний випрямний блок ДВБ. Для зменшення пульсацій струму використовується П-подібний фільтр.