•необхідність обмеження напруги на подовженому індукторі у зв'язку з можливістю іонізації залишкових газів за наявності високочастотного поля;

•пошук найбільш придатної форми тигля та матеріалу для його виготовлення, щоб запобігти міграції розплаву через верхню крайку тигля на його зовнішню поверхню;

•утворення теплозахисту;

•вибір найбільш раціональної геометрії індуктора та його електроізоляції.

Тиглі у випарниках з індукційним нагріванням необхідно виготовляти з тугоплавких та електропровідних матеріалів, які мають високу теплостійкість, хімічну інертність до розплавленого металу.

Для виготовлення тиглів використовують графіт, цирконієвий графіт, безкисневі матеріали (бориди, карбіди), наприклад, суміш карбіду бору з диборидом титану. Для теплового захисту беруть графітові тканини, повстяні графіти тощо.

Найбільшого поширення отримали електронно-променеві випарники, які складаються з графітових або мідних водоохоло-джуваних тиглів, електронно-променевих гармат різних типів. В одній камері може бути кілька випарників. Завдяки цьому в таких установках можна використовувати різні схеми технологічних процесів напилення.

В електронно-променевих випарниках поширені такі типи електронно-променевих гармат: аксіальні, які формують вісеси-метричний потік електронів, і плоскопроменеві. Незважаючи на конструктивні відзнаки, в електронно-променевих гарматах є (рис. 4.35) катод К, фокусувальний електрод ФЕ та приско-рювальний анод А. Поміж катодом і анодом прикладена висока напруга: 15—30 кВ і вище. Потік електронів проходить крізь канал в аноді і далі рухається за інерцією. У позаанодному просторі є електромагнітні котушки для фокусування променя ФК та керування променем ВК внаслідок його відхилення, розгортання та ін.

Конструкції та принцип роботи високочастотного індуктивного та дугового випарників прямої полярності термічним випаровуванням наведені вище (див. рис. 4.24, 4.25). Випарники установок термічної сублімації з іонним бомбардуванням (КІБ) та принципи їх роботи наведено в розділі 4 (див. рис. 4.27). Конструкції іонних розпилювачів залежать від способу напилення. Схематично іонні розпилювачі показані на рис. 4.28— 4.30.