мами запуску робочого газу, розгерметизації камери, валами приводів та ін.

Для ущільнення використовують білу вакуумну гуму, витон, фторопласт, пластичні метали тощо, а при робочій температурі понад 60 °С — силіконову гуму.

Мідна трубка на зовнішній поверхні призначена для нагрівання камери або її охолодження. У системі охолодження установки, призначеної для охолодження проточною водою паро-мастильного насоса, ковпака і розпилювачів, передбачено гідро-реле, що контролює наявність води в системі. Для прогрівання ковпака, пілковпакових пристроїв з метою знегаження і усунення конденсації пари води при піднятті ковпака в установці передбачена подача гарячої води в змійовик ковпака.

Для відкачування газів використовують вакуумні насоси двох типів: низьковакуумні (форвакуумні) та високовакуумпі.

До низьковакуумпих насосів належать насоси механічного типу з мастильним ущільненням. Найбільш поширені насоси — пластинчасто-роторного типу. Форвакуумні насоси серії НВЗ забезпечують швидкість відкачування 100—500 м3/с та розрідження в камері 10—10"' Па.

Як високовакуумні насоси переважно використовують високовакуумпі паромастильні агрегати типу АПВ зі швидкістю відкачування 100—700 м/с і залишковим тиском у камері 10"4—10~5 Па. Основні труднощі при створенні високого вакууму викликає зворотний потік пари робочої рідини. Його уловлюють спеціальними пастками. Пастки охолоджують рідким азотом.

Генератори потоку напилюваних частинок. Генератори потоку напилюваних частинок — розпилювачі — є найбільш відповідальними елементами устаткування для вакуумно-конденсаційного напилення. Конструктивне виконання розпилювачів визначається способами напилення. У зв'язку з цим існує дуже велика кількість варіантів розпилювачів. Але для будь-якого розпилювача обов'язковими є наявність матеріалу, що розпилюється, та джерела розпилення. У складніших схемах розпилювачів є інші елементи: джерела іонізації потоку пари, прискорювачі заряджених іонів, системи керування потоками частинок, сепаратори тощо.

Найбільш прості випарники використовуються в установках для напилення покриття термічним випаровуванням, зокрема випарники резистивного типу з прямим нагріванням (рис. 4.34, а, б, в). Вони випускаються промисловим способом і мають різні форми та розміри. Для них використовують дріт, фольгу, спечені вироби у вигляді човників. Матеріалами для випарників