ний насос, що забезпечує тиск у системі 10~3—10~5Па. До основних параметрів вакуумних насосів відносять: граничний вакуум, початковий гиск, максимальний випускний тиск, швидкість відкачування. Для одержання вищого вакууму користуються азотною пасткою, пропускаючи крізь неї рідкий азот. Натікачі 6, 7, 9 служать для підтримання вакууму в заданому діапазоні (10'—10 5 Па) і для напускання повітря під ковпак і у вакуумні насоси відповідно.

Робоча камера призначена для безпосереднього ведення процесу напилення. Найбільш поширені камери ковпакового типу знаходяться на базовій плиті. Є також кубічні з відкидними люками та циліндричні з висувною або відкидною передньою стінкою.

Залежно від призначення установки в камері має підтримуватись вакуум від 1 до 10~5 Па.

Виготовляють камери, як правило, з корозійностійких сталей з мінімальним газовідділенням із поверхні.

У камері розміщують розпилювач, механізми закріплення і переміщення виробів, екрани, заслінки, маски, датчики контролю та інші пристрої.

На корпусі камери є люки для спостереження за процесом, патрубки з фланцями для з'єднання з вакуумопроводами, систе-

Рис. 4.33. Схема вакуумної системи установок: / — паромастильний насос; 2 — вакуумний затвор; 3 — ручний привід; 4— азотна пастка; 5 — ковпак; 6, 7, 9 — натікачі; 8 — клапанна коробка; 10 — рукоятки; // — .механічний насос ВНМ-7Г; 12 — трубопроводи