Рис. 4.32. Схема установки для електронно-променевого напилення у високому вакуумі:

/ — робоча вакуумна камера; 2 — механізм кріплення і переміщення деталі; З — вакуумна камера електронно-променевих гармат; 4, 7 — електропно-променеві гармати для випаровування матеріалу; 5, 6 — слсктронно-променеві гармати для нагрівання виробу; 8 — вакуумна засувка; 9, ІЗ — водоохолоджені тиглі; 10 — злиток металу, що випаровується; // — механізм подачі матеріалу; 12 — таблетки матеріалу, що випаровується

Порядок вмикання вакуумної системи на відкачування однаковий для всіх вакуумних систем. Спочатку вмикають механічний насос, що відкачує систему до тиску 1,0 Па, а потім паромастиль-