За способом активації корпускулярного потоку частинок, що напилюються, установки ВКНП можна класифікувати так:

•установки без активації частинок;

•установки з активацією процесів іонізації газів або пари матеріалів шляхом використання додаткових фізичних процесів: тліючого розряду, постійних або змінних електричних полів, додаткових джерел емісії електронів тощо (активні методи);

•установки з активацією процесу нанесення покриття внаслідок використання реакційних газів, які дають змогу отримати відповідну тверду сполуку на поверхні, що покривається, завдяки реакції з парою металів (реакційний метод).

Крім того, установки для ВКНП класифікуються за такими ознаками:

•за режимом роботи (установки з періодичною, напівперерв-ною і безперервною дією);

•за конструктивним компонуванням (установки з вертикальною (ковпаковою) та горизонтальною камерою);

•за структурною будовою (однопозиційні і багатопозиційні установки);

•за характером відкачувальних пристроїв (установки з мастильними засобами відкачування і безмастильними, які відповідають низьковакуумним і високовакуумним системам);

•за призначенням (лабораторні, промислові для малосерій-ного та багатосерійного виробництва установки).

Принципові структурно-технологічні схеми установок для ВКНП мають такі системи, пристрої та прилади:

•вакуумну систему, яка містить у собі робочу камеру, засоби відкачування та ін.;

•випаровувальні або розпилювальні пристрої — генератори потоку частинок, які напилюються;

•систему енергоживлення;

•системи постачання робочим газом, водяного охолодження і підігрівання;

•транспортувальні пристрої та оснащення;

•системи контролю і керування;

•інші допоміжні пристрої і прилади.

Функціональна блок-схема установки для ВКНП наведена на рис. 4.31.

Компонування установок. Установки виготовляються в одно-корпусному виконанні або в складі кількох блоків, пов'язаних між собою комунікаційними мережами.