мах. Сила струму у катодній плямі може бути від одиниць до сотень амперів при густині потужності від 107 до 108 Вт/см2.

Розподіл катодних плям відповідає закону Гаусса, а їх переміщення — броунівському руху. Відштовхуючись один від одного, вони переміщуються до периферії площі катода і стабілізуються на торці катода котушками 8.

Необхідними умовами генерації потоку частинок, що напилюються, є великі потужності, які виділяються на катодних плямах, та високий тиск пари при утворенні катодних струменів.

Найбільш стабільно процес розпилення матеріалу катода проходить при охолодженні його водою 9 (холодний катод).

При катодному розпиленні використовують нееродуючі аноди 4. їх робота проходить у ненапруженому тепловому режимі. Необхідно прагнути до мінімальною падіння анодного потенціалу та дифузного розподілу розряду по поверхні анода. При цьому знижується абсолютна величина енергії, що виділяється на аноді, і величина питомої енергії на одиницю площі. Анодна пляма переміщується по поверхні зі швидкістю приблизно 104 м/с. Це запобігає руйнуванню анода.

Пара розпилюваного матеріалу при проходженні крізь дуговий розряд значною мірою іонізується. Залежно від умов процесу ступінь іонізації змінюється у широких межах — від 20 до 90 %. Завдяки цьому з'являється можливість формування потоку 5 у напрямку виробу 6.

На практиці використовують два способи дії на іонізовані частини потоку: електромагнітна дія га подача на виріб від'ємного зміщення. Найбільший вплив на ефективність процесу справляють питома потужність дугового процесу, потенціал зміщення, який подається на виріб, та індукція магнітного поля. Ці параметри визначають середню енергію іонів, густину потоку енергії плазмового струменя, густину потоку іонів та інші показники.

З підвищенням питомої потужності дуги збільшується швидкість розпилення катода і продуктивність напилення. При цьому поліпшуються показники параметрів потоку частинок.

Питома потужність дуги регулюється двома параметрами: силою струму дуги та площею розпилюваного катода. Напруга дугового розряду змінюється мало і становить 30—40 В. При заздалегідь заданих розмірах площі розпилюваного матеріалу основним енергетичним параметром є сила струму дуги.

Сучасні установки дають можливість вести процес при силі струму від 20 до 1000 А. Найчастіше використовується сила стру-