Рис. 4.26. Схема елскт-ронно-промснепого випа-ронунання при вакуумно-конденсаційному нанесенні покриття з незалежними вакуумними системами робочої камери і камери електронно-промс-нсвої гармати: /— робоча камера; 2— камера слектронно-променевої гармати; З — електронно-про-менсна гармата: 4 — електронний промінь; 5— виріб; 6 — потік напилюваних частинок: 7— іюдоохолоджува-ний тигель

Електронно-променеве нагрівання при вакуумно-конденсаційному напиленні покриття є найбільш ефективним і поширеним для нагрівання і випаровування розпилюваного матеріалу.

Відомо багато різних схем випарників і установок для ваку-умно-конденсаційнпго напилення з використанням електронио-променевого нагрівання.

Одна із схем, яка досить часто трапляється, наведена на рис. 4.26.

До кагода та анода електронної гармати від джерела живлення подається високовольтне навантаження. Термокатод емітує електрони, які прискорюються в напрямку водоохолоджуваного анода. Відхиляючи та фокусуючи електромагнітні системи, сформований промінь спрямовують на матеріал, який випаровується.

Електронний промінь належить до поверхневих джерел нагрівання. Суть процесу електронно-променевого нагрівання полягає в тому, що електрон після проходження електричного поля з прискорювальною напругою набуває кінетичної енергії. При взаємодії електрона з поверхнею матеріалу виділяється енергія у вигляді рентгенівського випромінювання, вторинних електронів і теплоти. На рентгенівське випромінювання витрачається приблизно 0,1 % енергії, на вторинні електрони — приблизно 15— 30 %, решта енергії йде на нагрівання. При прискорювальній напрузі ІІ= 15—20 кВ електрони укорінюються в поверхню на глибину 1—2 мкм. Основне гальмування електрона та виділення