Безпосереднє нагрівання матеріалу в тиглі відбувається внаслідок енергії від електромагнітного поля. Це зумовлює коливання полярних молекул та частинок, які заряджені.

Залежно від конструкції індуктора, маси матеріалу та потужності ВЧ-генератора час нагрівання становить від кількох секунд до часток секунди. Товщину шару X, яка проплавляється, можна визначити за формулою

де р — питомий опір матеріалу; ц — магнітна проникність; / — частота струму.

При випаровуванні пари утворюється потік, напрямлений до поверхні напилення. Процес здійснюється в жорстких камерах.

При запуску тигельних випарників для запобігання викидам розплавленого матеріалу необхідно проводити попередню дегазацію.

Порівняно з резистивним нагріванням індукційне високочастотне нагрівання більш ефективне. Коефіцієнт використання енергії значно підвищується. Недоліком цього способу є досить висока складність обладнання і його вартість.

Дугове нагрівання при напиленні покриття термічним випаровуванням відбувається дуговим розрядом прямої полярності.

Спочатку для нагрівання і розплавлення матеріалу використовують електронний промінь, а потім замінюють джерело теплоти на дуговий розряд з анодною формою дуги та фіксацією анода на поверхні розплаву. Схема процесу показана на рис. 4.25.

В основу устаткування покладено конструкцію електронно-променевої гармати з кільцевим катодом, який живиться від джерела розжарення катода І. Термокатод працює в режимі електронно-променевого та дугового процесів. На розпилюваний матеріал подається позитивний потенціал від високовольтного джерела живлення II при електронно-променевому нагріванні та низьковольтного III для дугового розряду. На початку процесу від кільцевого катода З, який розігрівається за допомогою джерела живлення І, емітуються електрони. Ці електрони за допомогою джерела II прискорюються і бомбардують заготовку.

Електронний промінь не тільки розплавляє і випаровує матеріал, а й іонізує потік пари, створює умови наступного збудження дугового розряду. Вмикається джерело живлення III і загоряється дуга. При цьому джерело живлення II вимикається.