•середньою кінетичною енергією 0,2—0,5 еВ; •ступенем іонізації 0,02—1,2 %; •швидкістю зростання покриття ~1 мкм/хв і більше .Для підвищення ступеня іонізації та енергії напилюваних частинок використовують різні способи стимуляції потоків, наприклад іонно-плазмовий. Резистивне нагрівання розпилюваного матеріалу відбувається внаслідок електричного опору резистора. Теплота від резистора до розпилюваного матеріалу передається безпосередньо (рис. 4.23, в) або через стінку тигля (рис. 4.23, г). Досить часто як резистори використовуються човники з різним робочим об'ємом. Перевагою способів ВКНП з резистивним нагріванням розпилюваного матеріалу є простота конструкції випарника та джерела електроживлення, зручність контролю та регулювання режиму роботи випаровування. Основний недолік випарників із резистивним нагріванням полягає в обмеженні максимальної температури випаровування до 1500 °С. Крім того, ці способи енергоємні, мають низьку питому потужність і малу продуктивність. Високочастотне індукційне нагрівання при напиленні покриття термічним випаровуванням здійснюється високочастотним індуктором. Конструктивна схема випарника з ВЧ-індукційним нагріванням наведена на рис. 4.24.
Карта
|
