Рис. 4.23. Узагальнена схема вакуумного конденсаційного напилення покриття термічним випаровуванням (а), способи випаровування матеріалу (б— г)

пряме резистивне нагрівання (рис. 4.23, в), або з матеріалом тигля (рис. 4.23, г).

При "контактному" нагріванні необхідно забезпечити мінімальний ступінь взаємодії розплавленого матеріалу з тиглем або нагрівником. Крім того, матеріал тиглів та нагрівників необхідно вибирати з незначною пружністю пари та високою стабільністю складу. При виконанні цих вимог можна запобігти істотному забрудненню покриття домішками.

Основним загальним параметром режиму роботи випарника джерела теплоти: резистора, індуктора, дуги, електронного проміння є електрична потужність. Зі збільшенням потужності джерела електроживлення збільшується потужність джерела теплоти.

Регулювання потужності джерела електроживлення відбувається внаслідок зміни сили струму і напруги. Із потужністю джерела теплоти, розподілом її по поверхні нагрівання зв'язана тем-