цій. Іх щільність сягає 1010—10" см~2. Більшість дислокацій виникає на остаточних стадіях утворення суцільної плівки. Характерним виявом великої кількості дислокацій у тонких плівках є розвиток субструктури, яка впливає на їх властивості.

4.4. Структура і властивості покриттів

Температура поверхні конденсації — один з основних параметрів, який визначає структуру покриття.

За результатами численних досліджень запропоновано тризонну модель структури покриттів (рис. 4.15).

Перша зона — низькотемпературна, формується при температурі поверхні основи від кімнатної до деякої граничної температури Г, » 0,3 Тш конденсованої речовини. Поверхня покриття має куполоподібну будову нижчу від температури 7і,. У перерізі покриття спостерігаються конусоподібні кристали. У внутрішніх об'ємах кристалів і особливо в прилеглих зонах наявні мікропори.

Друга зона — проміжна між Г, і Т2, де Т2 - (0,45.0,50) 7^ конденсованої речовини. Поблизу Ті відбувається поступовий перехід до другої зони з рівною матовою поверхнею. У перерізі спостерігається стовпчаста структура. Особливістю структури є наявність міжкристалітних меж. Мікропористість покриттів у цій зоні практично не спостерігається. Ширина стовпчастих кристалів росте зі збільшенням температури основи.

Третя зона — високотемпературна, формується при температурах, вищих від Т2. У цій зоні утворюється практично рівноважна структура. Якщо речовина здатна до поліморфного перетворення, то в покритті відбувається додаткова зміна структури при цій температурі.

Температурна залежність розмірів кристалітів О в кожній структурній зоні покриттів описується експонентою вигляду

Я2 =Лехрґ--У,(4.40)

де и — ефективна енергія активації процесів, що контролюють формування кристалітів (зерен).

Для чистих металів енергія V в першій зоні має низькі значення (0,2—0,25 еВ), у другій зоні — близькі до значень енергії активації поверхневої самодифузії. Наприклад, для покриттів Ре, №, Ті, \У енергія І/ дорівнює відповідно 0,78; 0,53; 0,98; 3,40 еВ.