Рис. 4.14. Послідовність стадій росту покриття

їх утворенню. Як наслідок критичний зародок переходить у за-критичну стадію. Такий розрослий зародок прийнято називати острівцем.

Зародженням і ростом центрів конденсації починається формування покриття. Відзначають кілька стадій росту покриття при конденсації пари (рис. 4.14).

На першій стадії виникають хаотично розміщені тривимірні зародки (рис. 4.14, а), які через деякий час перетворюються на острівці (рис. 4.14, б). їх форма залежить від поверхневої енергії і умов конденсації. Розростання острівців зменшує відстань між ними, і в місцях стикання сусідніх острівців відбувається їх злиття — коалесценція (рис. 4.14, в). Внаслідок коалесценції формується розвинена мережа каналів, які не заповнені сконденсованою речовиною (рис. 4.14, г). Канали поступово зарошуються і перетворюються на окремі пори різноманітної форми (рис. 4.14, д). Кінцевою стадією є утворення суцільної плівки (рис. 4.14, е).

Масоперенесення при коалесценції відбувається внаслідок поверхневої дифузії, тому обмеженим фактором цієї стадії є поверхнева дифузія, а рушійною силою — мінімізація поверхневої енергії.

На зрошування острівців і формування покриття помітно впливає енергія атомів, що падають на поверхню основи. При відносно низьких температурах основи збільшення кінетичної енергії атомів пари, наприклад при переході від термічного випаровування до катодного, прискорює зрощення острівців. Це пояснюється суттєвим збільшенням дифузійної рухливості внаслідок додаткової кінетичної енергії адсорбованих атомів. Зрошення острівців прискорюється також із підвищенням температури основи, швидкостей випаровування і конденсації.

Формування конденсованої плівки супроводжується виникненням великої кількості лінійних недосконалостей — дислока-