Значення 5, визначене з рівняння (4.18), якісно узгоджується з експериментальними даними, отриманими за результатами втрати маси зразка, який опромінюється, з такого рівняння:

5 = 26,6^-,(4.19)

де Ат — втрата маси, мкг; А — масове число атомів зразка; у — іонний струм, мкА; / — час опромінення.

Вказана різниця середніх енергій розпилених частинок і атомів після випаровування відбивається на структурі і властивостях вакуумних конденсатів. Конденсатам, отриманим розпиленням, як правило, властиві більш досконала структура і висока адгезія до основи. Розпилення дає можливість отримувати багатокомпонентні системи без зміни хімічного складу конденсагів. Однаковий хімічний склад розпилюваної речовини і конденсату залишається також і в системах, компоненти яких мають коефіцієнти розпилення, що суттєво розрізняються. Це пояснюється структурно-кінетичними закономірностями розпилення багатокомпонентних систем. У перший момент розпилення з поверхні складного сплаву починає відділятися компонент, коефіцієнт розпилення якого найбільший. На поверхні формується так званий змінений шар, збіднений на компонент із великим коефіцієнтом розпилення. Швидкість розпилення цього компонента уповільнюється, в той час як відносна швидкість розпилення другого зростає. Під час подальшого бомбардування процес стабілізується: розпилення сплаву супроводжується збереженням складу і товщини зміненого шару, який виконує роль автоматичного регулятора швидкостей розпилення. Відмінність у складі виникає, коли катод, який розпилюється, має досить високу температуру, близьку до температури плавлення. При цьому конденсат збагачується на компонент із найбільшим коефіцієнтом розпилення.

Реакційне випаровування і розпилення. Деякі покриття отримують за допомогою реакцій між атомами парового потоку металу і атомами спеціально поданих у камеру хімічно активних газів. Такий процес називають реакційним. Найбільш поширеним прикладом такого процесу є формування покриттів із ТіИ при випаровуванні чи розпиленні в середовищі И2.

Для реакційного напилення покриттів необхідно знати, при якому тиску робочого газу буде забезпечено синтез потрібної сполуки. Для практичних завдань це можна вирішити таким чином.