Значення Е значно перевищують енергію сублімації, спостерігається характерна періодичність, яка відповідає періодичній системі елементів. Значення Е мінімальне для елементів другої підгрупи (Тп, Сй). Найбільше значення Е мають метали, коефіцієнт розпилення яких мінімальний. Середня енергія вибитих атомів зростає з підвищенням енергії і зменшенням маси бомбардувальних іонів, тобто середня енергія розпилених частинок зростає зі збільшенням глибини проникнення іонів у речовину.

Коефіцієнт розпилення залежить від енергії, маси і кута падіння іонів. Основними параметрами, що характеризують зіткнення іонів з кристалічною граткою, є переріз зіткнення іона з атомами кристалічної ґратки ог, при якому атому передається енергія, вища, ніж необхідна для зміщення атома з його нормального положення в гратці Еа, і середня енергія Е, яка передається зміщеному атому. Максимальна енергія, яку передає іон нерухомому атому, обчислюється за формулою

шах /\2 ' '

(4.17)

де іщ — маса іона; т2 — маса нерухомого атома; Еі бомбардувального іона.

Коефіцієнт розпилення визначається з виразу

4Е.

\п(Е/Еа)

(4.18)

де п„— кількість атомів в одиниці об'єму; Е =(Егтх + Еа)/2; Ех — енергія зв'язку атома в кристалічній гратці (енергія сублімації).

Рис. 4.8. Середня кінетична енергія розпилених частинок металів залежно від атомного номера елемента

200

ІМЬ

Та

10 20 ЗО 40 50 60 70 80 г

273