Інженерія поверхні: Підручник
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо
Если Вы являетесь автором данной книги и её распространение ущемляет Ваши авторские права или если Вы хотите внести изменения в данный документ или опубликовать новую книгу свяжитесь с нами по по .
Страницы: 1 2 3... 258 259 260 261 262 263 264... 545 546 547
|
|
|
|
Для початку процесу розпилення достатньо певного мінімального значення енергії іона, яка має назву пирогової. Для більшості матеріалів порогова енергія розпилення змінюється від 10 до 100 еВ і залежить від типу бомбардувального іона, енергії зв'язку атомів у ґратці розпилюваного матеріалу. Зростання енергії іонів вище за порогове значення приводить до прискорення розпилення. Інтенсивність розпилення характеризується коефіцієнтом розпилення як відношення кількості розпилених атомів А/, до кількості бомбардувальних іонів А^: чи кількістю атомів речовини, вибитих одним іоном. Залежність коефіцієнта розпилення від енергії іонів має кілька зон (рис. 4.7). Зона І відповідає допороговим значенням енергії іонів і не фіксується сучасними методами вимірювань. У зоні II розпилен-
Карта
|
|
|
|
|
|
|
|
Страницы: 1 2 3... 258 259 260 261 262 263 264... 545 546 547
Внимание! эта страница распознана автоматически, поэтому мы не гарантируем, что она не содержит ошибок. Для того, чтобы увидеть оригинал, Вам необходимо скачать книгу |
|
|
|
