леглі до поверхні основи шари містять у собі максимальну кількість легколеткого компонента. Найбільш досконалим способом нагрівання і випаровування матеріалу є електронно-променевий. Після проходження крізь електричне поле з різницею потенціалів і/ електрон прискорюється і набуває кінетичної енергії: (4.12) де ш0, и„, е — маса, швидкість і заряд електрона відповідно. Електрон зі стану спокою, пройшовши крізь поле з різницею потенціалів І В, матиме швидкість 2еи 2 ■ 1,6 -10-'"-І ' 9,1 • 10 31 При зіткненні з поверхнею матеріалу кінетична енергія електрона витрачається на збудження рентгенівського випромінювання, утворення вторинних електронів і нагрівання. Основна частина кінетичної енергії перетворюється на теплову в тонкому поверхневому шарі. При прискорювальній напрузі 15—20 кВ глибина проникнення електрона в металеві матеріали становить 1— — — Рис. 4.1. Молярне відношення компонентів у парі бінарних сплавів залежно від відношення кількості сплаву, що випаровується, до початкової його кількості, х°А ----0,8; — - 0,5;----0,2
Карта
|
