1,мкм

Рис. 12. Изменение полуширины / рентгеновской интерференционной линии (310), характеризующей степень дефектности монокристалла молибдена на глубине 1,4 (7) и 0,09 мкм (2) от свободной поверхности, е - 0,72 %, в зависимости от степени почернения х

Рис. 13. Влияние скорости полирования на кривую о — е молибдена в условиях одноосного растяжения [81]. Скорость полирования, мкм/с: 1 — без полирования; 2 — 10; 3 — 15; 4-20

равной (2,1 ±0,1) эВ, что согласуется с литературными данными по объемной пластической деформации монокристаллического кремния.

По разности значений напряжений, соответствующих моменту разгру-жения ot и напряжению течения при повторном нагружении о2 после снятия поверхностного слоя определенной толщины, была проведена оценка величины барьерного эффекта поверхностного градиента Aas = = а 1 — 0"г, а также глубины поверхностного слоя, ответственного за него, при различных степенях предварительной деформации кремния [ 42, 64]. Эти оценки показали, что при постоянных степени предварительной деформации и скорости нагружения с увеличением толщины удаленного слоя Aas возрастает, а затем перестает изменяться и остается постоянной величиной. С увеличением степени предварительной деформации темп роста Дез также уменьшается и при е =6 % величина Aas также выходит на насыщение. С увеличением скорости деформирования величина Aos несколько повышается, однако характер ее изменения от .степени предварительной деформации остается аналогичным [ 42,64].

Кроме того, в работах [ 42, 63, 65] на примере одноосного динамического сжатия монокристаллов молибдена также было показано, что образование приповерхностного градиента плотности дислокаций на начальной стадии деформации и его влияние на общую кинетику макроскопического течения на являются узко специфичным эффектом и присущи не только полупроводникам, но и металлическим кристаллам. В частности, при разгружении и повторном нагружении с промежуточным удалением поверхностного слоя на монокристалле молибдена, так же как кремния,