жения и послойного снятия поверхностных слоев было показано [ 63 — 65] барьерное действие этого, градиента плотности дислокаций вблизи поверхности на 2-й стадии деформационного упрочнения для монокристаллов не только кремния, но и молибдена (рис. 11). В последнем случае вблизи поверхности деформируемого образца также наблюдается градиент плотности структурных дефектов (рис. 12). Кроме того, сравнительная оценка энергетических параметров пластического течения для внутренних объемных и приповерхностных слоев кристалла в интервале температур 953 — 1173 К подтвердила ранее полученные данные [ 19, 56] об аномальном характере пластической деформации вблизи поверхности в низкотемпературной области от 77 до 823 К (резкое уменьшение величин критического напряжения сдвига и энергии активации движения дислокаций, увеличение активационного объема и скорости движения дислокаций). В частности, оценка средних величин значений скоростей движения дислокаций в приповерхностных слоях кристалла для интервала температур 953 — 1173 К показала, что они «а 1,5 — 2 порядка выше значений скоростей дислокаций во внутренних объемных слоях кристалла (диаметр петель 200 — 300 ■ 10"6 м) [ 42, 65, 66]. По температурным зависимостям средней скорости движения дислокаций, глубины распространения debris-споя, а также критического напряжения начала микроскопического течения были также проведены оценки энергии активации движения дислокаций в приповерхностных слоях.

Рис. 11. Схема определения (в) и зависимость уменьшения напряжения течения До$ от толщины удаленного слоя й и степени деформации (с , %) монокристалла молибдена (б). к - 2,0 • 10"4 с"1. Цифры на кривых — е , %

Несмотря на то что значения энергии активаций определяли различными экспериментальными методами, найденные величины находились в удовлетворительном соответствии между собой: (1,1±0,1); (1,38±0,1) и (1,3±0,1) эВ [42, 65]. Энергию активации для процесса пластического течения внутренних объемных слоев материала определяли известным из литературы графо-аналитическим способом по температурно-скоростному изменению верхнего предела текучести "зуба текучести". Она оказалась

6

50

150 /г,мкм